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- 發(fā)光二極管工廠設計規(guī)范 GB 51209-2016
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設備布置
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結 構
- 8 動力及氣體工程
- 9 供暖、通風、空氣調節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
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4。4，設備布置4 4，1。振動敏感設備指用于發(fā)光二極管芯片生產(chǎn)的光刻機，發(fā)光二極管芯片測試的探針臺。為避免振動源對此類微振敏感設備的影響、此類振動敏感設備應盡量遠離振動源布置。4.4,2、本條主要針對工藝生產(chǎn)分期實施提出 對于產(chǎn)業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)、發(fā)光二極管生產(chǎn)設備宜根據(jù)設備種類適當集中布置、當分期實施時,需考慮預留空位,因投資限制、同時考慮節(jié)約廠房運行費用 可按設定的生產(chǎn)大綱配置工藝設備、以實現(xiàn)緊湊的工藝平面布置。4。4.3。4.4 4,金屬有機化合物化學氣相沉積設備是生產(chǎn)發(fā)光二極管的關鍵設備 并與其輔助設備關聯(lián)比較密切,金屬有機化學氣相沉積生產(chǎn)的輔助設備包括、氣瓶柜、尾氣處理設備，氣體純化柜，金屬有機化學氣相沉積生產(chǎn)所需的特殊氣體 如硅烷.砷烷 磷烷等、放在氣瓶柜中.通過管道接至金屬有機化學氣相沉積設備，氫氣 氮氣、氨氣需經(jīng)過氣體純化設備純化后接至金屬有機化學氣相沉積設備使用點 工藝尾氣需經(jīng)過尾氣處理設備處理后再行處理或排放、上述設備均為使用會產(chǎn)生危險氣體的設備。雖然在工程設計中可以采取一些措施 將產(chǎn)生危險的概率降至最低 在工藝功能規(guī)劃,設備布置時,宜將這些輔助設備。氣瓶柜 尾氣處理設備、氣體純化柜。集中，靠外墻布置。