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- 發(fā)光二極管工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51209-2016
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工 藝
- 4.1 一般規(guī)定
- 4.2 基本工序與生產(chǎn)協(xié)作
- 4.3 工藝區(qū)劃
- 4.4 設(shè)備布置
- 5 總 圖
- 6 建 筑
- 7 結(jié) 構(gòu)
- 8 動(dòng)力及氣體工程
- 9 供暖、通風(fēng)、空氣調(diào)節(jié)與凈化
- 10 給水排水
- 11 電 氣
- 12 防靜電
- 13 空間管理
- 附錄C 發(fā)光二極管生產(chǎn)的典型工藝流程
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4 3 工藝區(qū)劃4 3、1。發(fā)光二極管的功能區(qū)按工藝流程一般包括 金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)區(qū)。管芯制備，光刻.顯影,刻蝕.薄膜 蒸鍍.合金,清洗，區(qū)。減薄 切割裂片,測試 分選區(qū),管芯封裝區(qū).裝片 金線鍵合，灌膠、點(diǎn)膠 固化.切筋,編帶。測試，等、工藝區(qū)劃一般應(yīng)按上述功能區(qū)進(jìn)行劃分、相同的工序宜集中布置 4,3、3.本條主要考慮部分生產(chǎn)線為一次規(guī)劃，分期實(shí)施 為實(shí)現(xiàn)分期實(shí)施 在設(shè)置工藝設(shè)備搬入口時(shí),應(yīng)考慮后期工藝設(shè)備的搬入方式、在工藝功能規(guī)劃時(shí)、應(yīng)預(yù)留有后期設(shè)備搬入的通道及搬入口，4 3、4,金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積生產(chǎn)區(qū),管芯制備區(qū)為發(fā)光二極管生產(chǎn)的核心區(qū)域。企業(yè)一般不希望外來參觀者進(jìn)入此區(qū)域.同時(shí)又希望能夠展示企業(yè)的技術(shù)實(shí)力、因此在進(jìn)行工藝區(qū)劃時(shí)，應(yīng)設(shè)置與主生產(chǎn)區(qū)的生產(chǎn)環(huán)境相隔離的參觀設(shè)施、使得參觀人員無需更換潔凈服就可參觀,