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4，工，藝4。1 一般規(guī)定4,1。4。4 1。5、根據對國內一些發(fā)光二極管生產工廠的生產環(huán)境要求,工藝動力品質,氣體,水,要求的調研數據、通過匯總和比較，在附錄A給出了主要工序生產環(huán)境要求舉例.在附錄B給出了工藝動力品質要求舉例 在工藝設計時。業(yè)主或發(fā)包方未提出要求或暫時未提出要求時.可參照本規(guī)范附錄A，附錄B的要求確定，附錄A對于空氣潔凈度等級只給出一定的范圍供參考.比如對于烤盤。吹盤間，屬于設備維護用房間 可以放到非凈化區(qū)內 但由于本規(guī)范所調研廠家出于設備維護方便方面的考慮 將其放置在與MOCVD間相鄰的房間內 因此對烤盤。吹盤間也采取了凈化措施。與此類似的還有MOCVD輔助間.該房間用于放置尾氣處理設備。氣體純化等輔助設備。這些設備本身不需要凈化環(huán)境，只是從易于調試及使用方面考慮。多數發(fā)光二極管生產工廠將其放置在與MOCVD間相鄰的房間內、也對該房間采取了凈化措施.附錄B給出了工藝動力品質。氣。水 要求舉例 根據選取的工藝設備不同.其對于動力品質的要求會有差別.對于研磨.切割用純水。所調研發(fā)光二極管生產工廠采用的純水的電阻率為4MΩ。cm 此水質可以滿足工藝生產要求 4,1.6，本條主要考慮發(fā)光二極管生產工廠的生產多為大批量生產，從節(jié)約能源方面考慮.主要生產車間的生產設備宜采用連續(xù)運轉的方式,其他輔助生產車間,如原輔材料庫等、可以根據生產的要求配套