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16,半導(dǎo)體材料廠車間電力設(shè)計16,0,1 本章適用于半導(dǎo)體硅.鍺和化合物材料生產(chǎn)廠的多晶，單晶及片加工生產(chǎn)車間電力設(shè)計,16,0 2，三氯氫硅合成爐和多晶硅氫還原爐的高壓啟動設(shè)備僅在啟動時短時工作，可不參與負(fù)荷計算和無功功率補(bǔ)償計算,16。0，3、三氯氫硅合成爐工頻感應(yīng)線圈的計算、宜采用實驗曲線法，計算方法見本規(guī)范附錄G、16。0、4，三氯氫硅合成。精餾提純 四氯化硅氫化、氫還原及尾氣回收裝置等控制系統(tǒng)的電力設(shè)計.應(yīng)與儀表專業(yè)統(tǒng)一考慮,使控制檢測裝置協(xié)調(diào)一致,電控及儀表監(jiān)測設(shè)備應(yīng)集中安裝在同一控制室內(nèi) 控制室應(yīng)正壓通風(fēng)。16.0，5,多晶硅氫還原爐的高壓啟動設(shè)備或硅芯預(yù)熱裝置.常壓供電設(shè)備和切換開關(guān)?？杉邪惭b在同一電氣室內(nèi)，當(dāng)采用充油式供電設(shè)備時 其防火要求應(yīng)符合本規(guī)范第3。8節(jié)的有關(guān)規(guī)定 16,0,6、多晶硅氫還原爐電氣室 應(yīng)與多晶硅氫還原爐室相毗鄰。兩室之間嚴(yán)禁開設(shè)門窗及其他孔洞、電源線穿越墻和樓板的地方應(yīng)進(jìn)行嚴(yán)密封堵，與電氣室無關(guān)的管道嚴(yán)禁通過電氣室。必須通過時 應(yīng)采取隔離措施,16、0。7,多晶硅氫還原爐的控制室與電氣室之間，應(yīng)設(shè)置便于聯(lián)系的通道，16 0.8、多晶硅氫還原爐用硅芯生產(chǎn)時,在控制室。電氣室和多晶硅氫還原爐室。均應(yīng)設(shè)置聲光信號.電氣室應(yīng)裝設(shè)有電氣聯(lián)鎖的安全門，門上應(yīng)設(shè)標(biāo)志燈,高壓啟動前應(yīng)有報警信號并自動鎖門、高壓啟動后自動解除。16 0，9，當(dāng)單晶和多晶車間的主要用電設(shè)備為單相負(fù)荷時,供電變壓器的中性線截面應(yīng)與相線截面相同,供電變壓器的接線組別、應(yīng)采用D.yn11.16、0,10,每臺單晶爐和區(qū)熔爐附近，均應(yīng)設(shè)開關(guān)箱,箱內(nèi)應(yīng)設(shè)向主回路和控制回路供電的刀開關(guān)及一定數(shù)量的檢修插座。16。0，11。單晶爐 區(qū)熔爐及物理測試儀表。應(yīng)由同一臺變壓器供電,物測室的供電電源尚應(yīng)采取穩(wěn)壓措施.16,0、12、高頻區(qū)熔爐和外延生長爐.均應(yīng)裝設(shè)電源濾波器、并應(yīng)符合下列規(guī)定、1 濾波器應(yīng)安裝在屏蔽室外墻上便于接線的地方.2，濾波器外殼接地和屏蔽室接地應(yīng)共用一套接地裝置、3.接地裝置應(yīng)采用鍍鋅銅板制作。其面積宜為1m2 2m2、厚度宜為5mm,4、鍍鋅銅板應(yīng)立埋于地下、上端距地面不應(yīng)小于2m,5 接地線的長度嚴(yán)禁小于1、4工作波長或1.4工作波長的奇數(shù)倍.16。0 13。未裝設(shè)屏蔽設(shè)施的區(qū)熔室內(nèi).由濾波器至用電設(shè)備的線路 應(yīng)進(jìn)行屏蔽 16、0，14.每臺區(qū)熔爐均應(yīng)設(shè)置一個獨立的槽路接地裝置 該裝置應(yīng)設(shè)置在區(qū)熔爐的地下距槽路最近的地方、接地裝置的形式和要求應(yīng)符合本規(guī)范第16.0 12條第3款.第4款的規(guī)定.16.0，15,氫還原爐.單晶爐 區(qū)熔爐和外延爐。當(dāng)冷卻水?dāng)嗨畷r，應(yīng)切斷電源并應(yīng)有信號顯示，16。0,16，物測室的電源進(jìn)線處,應(yīng)裝設(shè)電源濾波器.電源濾波器外殼與屏蔽室接地應(yīng)共用一套接地裝置，并一點接地 接地裝置的形式和要求應(yīng)符合本規(guī)范第16。0，12條第3款,第4款的規(guī)定，16，0 17，物測室的電力和照明電源,均應(yīng)從濾波器后引接 物測室的照明光源宜采用白熾燈 16 0 18。穿越屏蔽室的電力、照明線路，在屏蔽室內(nèi)均應(yīng)采取屏蔽措施。線路的保護(hù)管或波導(dǎo)管在穿越處均應(yīng)與屏蔽網(wǎng)、板.做環(huán)路連續(xù)焊接,16。0.19 單晶車間,區(qū)熔室、物測室及片加工生產(chǎn)的電力設(shè)計。除應(yīng)符合本章規(guī)定外、尚應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，潔凈廠房設(shè)計規(guī)范 GB，50073的有關(guān)規(guī)定，