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- 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準 GB 50646-2020
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 特種氣體站房
- 4 特種氣體工藝系統(tǒng)
- 5 生命安全系統(tǒng)
- 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)
- 7 建筑結(jié)構(gòu)
- 8 電氣與防雷
- 9 公用工程
- 10 特種氣體系統(tǒng)工程施工
- 11 特種氣體系統(tǒng)工程驗收
- 附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法
- 附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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1?？倓t1,0，1。為了在電子工業(yè)工廠特種氣體系統(tǒng)及配套裝置的工程設(shè)計，施工及驗收中貫徹國家現(xiàn)行法律.法規(guī)、滿足產(chǎn)品生產(chǎn)要求。確保人身和財產(chǎn)安全,做到安全適用。技術(shù)先進 保護環(huán)境 節(jié)約能源,經(jīng)濟合理 制定本標準。1.0 2。本標準適用于新建,改建.擴建的電子工業(yè)的特種氣體系統(tǒng)工程中的設(shè)計。施工和驗收.1,0,3，本標準不適用于特種氣體的制取、提純.灌裝等生產(chǎn)及配套裝置的工程設(shè)計 施工和驗收,1，0 4。特種氣體系統(tǒng)工程的設(shè)計，施工及驗收除應(yīng)符合本標準的規(guī)定外,尚應(yīng)符合國家現(xiàn)行有關(guān)標準的規(guī)定、