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9，3。采暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)9、3,1.特種氣體站房用于儲(chǔ)存和分配自燃性。易燃性、毒性。腐蝕性 氧化性，窒息性氣體.存在管道或閥門泄漏和積聚的潛在危險(xiǎn)性 因此.特種氣體站房應(yīng)設(shè)置連續(xù)的機(jī)械通風(fēng) 防止自燃性。易燃性,毒性、腐蝕性，氧化性.窒息性氣體在特種氣體間內(nèi)積聚.通常,自燃性,易燃性.毒性，腐蝕性氣體儲(chǔ)存在氣瓶柜內(nèi) 氣瓶柜應(yīng)設(shè)置局部通風(fēng)。房間通風(fēng)量應(yīng)不小于氣瓶柜的通風(fēng)要求、為了保證房間通風(fēng)良好 本條規(guī)定了特種氣體站房的最小通風(fēng)換氣率 美國國家消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)。半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)、NFPA.318。2018第5。5,3條也做了規(guī)定，該條內(nèi)容摘錄如下,5，5,3。有害化學(xué)品儲(chǔ)存和配送房間應(yīng)設(shè)置機(jī)械通風(fēng)，機(jī)械通風(fēng)換氣率不應(yīng)低于0、31m3.min.m2,1ft3 min ft2,地面面積、0,31m3，min。m2 相當(dāng)于18m3,h，m2。地面面積.特種氣體氣瓶安裝在氣柜內(nèi)。特種氣體氣柜設(shè)有機(jī)械排風(fēng)。自動(dòng)噴水滅火噴頭，氣體偵測(cè)裝置.控制以及吹掃裝置、一旦有極少量有害氣體泄漏。氣體探測(cè)裝置將自動(dòng)切斷氣瓶瓶頭閥門并停止氣體供應(yīng)、自動(dòng)吹掃管道.機(jī)械排風(fēng)系統(tǒng)將釋放在氣柜內(nèi)的極少量有害氣體及時(shí)排出 不會(huì)造成有害氣體在特種氣體站房擴(kuò)散.特種氣體站房為恒溫恒濕空調(diào)環(huán)境。且采用直流式空調(diào)系統(tǒng) 為降低能耗 在保證安全的前提下 應(yīng)盡量減少新風(fēng)量。基于上述原因，故本條規(guī)定了特種氣體站房通風(fēng)換氣率不應(yīng)小于18m3，h,m2。地面面積.9,3。2 本條為強(qiáng)制性條文。必須嚴(yán)格執(zhí)行.特種氣體氣瓶柜和閥門箱內(nèi)安裝了特種氣體分配閥門和管道,閥門和管道接口較多 存在泄漏的可能性、因此.特種氣體的氣瓶柜和閥門箱應(yīng)設(shè)置機(jī)械排風(fēng)進(jìn)行強(qiáng)制通風(fēng)、防止自燃性。易燃性、毒性、腐蝕性、氧化性 窒息性氣體在氣瓶柜和閥門箱內(nèi)積聚而引起事故。9、3.3、特種氣體的排風(fēng)系統(tǒng)劃分原則包括以下三點(diǎn)，1 防止不同種類和性質(zhì)的特種氣體混合后引起燃燒或爆炸事故 2,避免形成毒性更大的混合物或化合物，對(duì)人體造成危害或設(shè)備和管道腐蝕.3。防止在風(fēng)管中積聚粉塵 從而增加風(fēng)管阻力或造成風(fēng)管堵塞,影響通風(fēng)系統(tǒng)的正常運(yùn)行,9 3，4 大宗特種氣體站房內(nèi)特種氣體容器容積較大。且特種氣體容器直接暴露在特氣站房環(huán)境內(nèi)、發(fā)生氣體泄漏時(shí).氣體直接泄漏至特種氣體站房環(huán)境內(nèi) 操作人員，救援人員暴露風(fēng)險(xiǎn)高,因此 大宗氣體站房應(yīng)設(shè)置事故通風(fēng).事故通風(fēng)量應(yīng)根據(jù)事故時(shí)泄放的特種氣體量和危害程度通過計(jì)算確定，根據(jù)現(xiàn)行國家職業(yè)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn) 工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),中的規(guī)定。事故通風(fēng)換氣次數(shù)的下限定為12次。h，特種氣體站房事故通風(fēng)系統(tǒng)與環(huán)境氣體探測(cè)器聯(lián)鎖,當(dāng)發(fā)生氣體泄漏事故時(shí),自動(dòng)開啟事故通風(fēng)系統(tǒng),以降低環(huán)境中氣體濃度,報(bào)警在特種氣體站房外設(shè)置緊急按鈕以便救援人員啟動(dòng)事故排風(fēng)系統(tǒng).9、3，5 9、3,6。硅烷屬于易燃.易爆氣體、一旦發(fā)生泄漏，將會(huì)發(fā)生自燃。有可能導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸、為了確保硅烷的泄漏數(shù)量不會(huì)導(dǎo)致自燃、本條規(guī)定是為了將硅烷供應(yīng)使用區(qū)域的硅烷濃度控制在0.4。以下，美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn).硅烷和硅烷混合物儲(chǔ)存和操作,CGA。G 13、2015第13章第13.2、3條也做了規(guī)定,該條的內(nèi)容摘錄如下,13 2、3、排風(fēng)罩,抽風(fēng)罩,氣柜應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng),以阻止?jié)B漏硅烷積聚、并限制硅烷平均濃度為0 4,即體積比250。1、試驗(yàn)表明0，4。平均濃度可能引起氣柜內(nèi)局部體積爆燃,PVD，估計(jì)0、4 限值所產(chǎn)生的超壓可以通過氣柜門閂失靈來泄爆，標(biāo)準(zhǔn)硅烷體積流量應(yīng)根據(jù)管道系統(tǒng)泄放至密閉空間的最大流量來決定.流量應(yīng)根據(jù)管線限流孔板或氣瓶閥尺寸和硅烷源最大壓力來計(jì)算，在硅烷氣瓶或管道系統(tǒng)非焊接附件和連接處的最小通風(fēng)量應(yīng)不小于最大硅烷體積流量的250倍.表13。2，3為標(biāo)準(zhǔn)硅烷流量和最小通風(fēng)量,表13 2 3,標(biāo)準(zhǔn)硅烷流量和最小通風(fēng)量 注。1。硅烷氣源溫度為75,F,24，2、限流孔板下流側(cè)壓力為opsi、3，限流孔板孔口出流系數(shù)為0，8，4.立方英尺。分，scfm、轉(zhuǎn)換為升、分換算系數(shù)28，32.5 Psi轉(zhuǎn)換為kPa換算系數(shù)6，895 9 3,7 排風(fēng)管道為負(fù)壓。采用柔性風(fēng)管或軟管。風(fēng)管的有效通風(fēng)面積減小、將會(huì)影響到通風(fēng)效果，同時(shí).柔性風(fēng)管或軟管對(duì)火災(zāi)的耐受性較差。很容易造成排風(fēng)管燒壞和變形、因此。易燃性。毒性,腐蝕性氣體柜和閥門箱的排風(fēng)與主排風(fēng)管道連接的支管采用剛性風(fēng)管 氣瓶柜、閥門箱排風(fēng)管道是保證氣瓶柜通風(fēng)良好的必要前提、如果在氣瓶柜,閥門箱的排風(fēng)管道上設(shè)置防火閥.一方面,防火閥可能誤動(dòng)作，導(dǎo)致氣瓶柜。閥門箱排風(fēng)故障,將存在有害氣體在氣瓶柜內(nèi)積聚。存在安全風(fēng)險(xiǎn).另一方面、在火災(zāi)情形下。氣瓶柜 閥門的排風(fēng)仍有必要保持聯(lián)系工作、才能保證操作人員和消防人員的生命安全.因此,本條規(guī)定了氣瓶柜，閥門箱的排風(fēng)管路上不應(yīng)設(shè)置防火閥 大宗有毒性氣體容器出口閥門部位管道連接為機(jī)械密封.存在泄漏風(fēng)險(xiǎn),故本條規(guī)定了應(yīng)設(shè)置抽風(fēng)罩,提高通風(fēng)效率,阻止泄漏氣體進(jìn)入室內(nèi)環(huán)境。9 3 8.房間排風(fēng)口的位置應(yīng)根據(jù)特種氣體與空氣的相對(duì)密度來確定，防止有害氣體積聚。為了將不同位置積聚的特種氣體排出,本條規(guī)定了根據(jù)特種氣體相對(duì)密度的大小設(shè)置房間排風(fēng)口的位置、這樣可以有效地將大于,小于空氣密度的特種氣體排至室外。9。3，9,避免特種氣體站房排風(fēng)造成對(duì)周圍環(huán)境和人身安全造成危害 因此。應(yīng)根據(jù)排風(fēng)中特種氣體的性質(zhì)和濃度等因素確定設(shè)置處理裝置進(jìn)行處理 如洗滌塔、吸附塔等 9、3、10、為保證特種氣體站房排風(fēng)系統(tǒng)的連續(xù)可靠運(yùn)行，宜設(shè)置備用排風(fēng)機(jī)，備用排風(fēng)機(jī)也可以兼做事故排風(fēng)機(jī) 特種氣體間通風(fēng)系統(tǒng)電源設(shè)置應(yīng)急電源、目的是保證排風(fēng)系統(tǒng)的穩(wěn)定運(yùn)行可靠.9 3。11。特種氣體站房的火災(zāi)危險(xiǎn)性屬甲類。乙類、如采用循環(huán)空調(diào)系統(tǒng),易形成易燃性氣體積聚 而引起爆炸事故.另外，毒性。腐蝕性的特種氣體的積聚也危及人員的生命安全、因此，不應(yīng)采用循環(huán)空調(diào)系統(tǒng),特種氣體間設(shè)置空調(diào)系統(tǒng)目的是為特種氣體柜及其控制系統(tǒng)提供一個(gè)適宜的工作環(huán)境,9,3.12，避免相鄰特種氣體間的火災(zāi)蔓延，或因一個(gè)特種氣體間火災(zāi)而導(dǎo)致多個(gè)特種氣體間的通風(fēng)關(guān)閉,造成更大的危害，因此、空調(diào)風(fēng)管不應(yīng)穿越特種氣體間之間的分隔墻、9、3.13。為保證特種氣體間的環(huán)境狀態(tài)穩(wěn)定.因此，建議空調(diào)系統(tǒng)設(shè)置備用空調(diào)機(jī)組。當(dāng)受到條件限制時(shí)，采用適當(dāng)措施保證在空調(diào)機(jī)組維護(hù)或故障時(shí)、特種氣體房間能取得足夠的補(bǔ)風(fēng)，也是保證安全的有效措施之一 9 3、14。特種氣體間空調(diào)系統(tǒng)電源設(shè)置應(yīng)急電源、目的是保證特種氣體間的通風(fēng)平衡和穩(wěn)定，9、3.15,本條為強(qiáng)制性條文.必須嚴(yán)格執(zhí)行.特種氣體設(shè)備及站房排風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管采用不燃材料制作，保溫采用應(yīng)采用不燃或難燃材料 是為了防止火災(zāi)蔓延和擴(kuò)散。規(guī)定腐蝕性特種氣體的排風(fēng)管道采用耐腐蝕材料，是為了防止腐蝕氣體破壞排風(fēng)管道、產(chǎn)生氣體泄漏事故.9、3。16,為防止因空氣摩擦產(chǎn)生靜電積聚 而引起燃燒和爆炸事故、因此，特種氣體設(shè)備排風(fēng)管 站房通風(fēng)管道及空調(diào)風(fēng)管應(yīng)設(shè)置防靜電接地裝置。消除風(fēng)管靜電，9、3,17,本條為強(qiáng)制性條文.必須嚴(yán)格執(zhí)行、為了保證特氣站房排風(fēng)系統(tǒng)連續(xù)運(yùn)行。防止特種氣體積聚、從而降低了火災(zāi)危險(xiǎn)性和對(duì)救援人員的危害、本條規(guī)定特氣站房排風(fēng)系統(tǒng)不得與火災(zāi)報(bào)警系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)控制、因?yàn)榛馂?zāi)時(shí).一旦關(guān)閉特種氣體站房的排風(fēng)系統(tǒng)。特種氣體系統(tǒng)的自燃 易燃。毒性,腐蝕性、窒息性氣體可能會(huì)泄漏進(jìn)入房間 造成人員傷害 傷害可能比火災(zāi)危險(xiǎn)發(fā)生更早 所以,本條規(guī)定火災(zāi)發(fā)生時(shí)。嚴(yán)禁關(guān)閉排風(fēng)系統(tǒng)、