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- 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標準 GB 50646-2020
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 特種氣體站房
- 4 特種氣體工藝系統(tǒng)
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 特種氣體輸送系統(tǒng)
- 4．3 吹掃和排氣系統(tǒng)
- 4．4 硅烷工藝系統(tǒng)
- 5 生命安全系統(tǒng)
- 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)
- 7 建筑結(jié)構(gòu)
- 8 電氣與防雷
- 9 公用工程
- 10 特種氣體系統(tǒng)工程施工
- 11 特種氣體系統(tǒng)工程驗收
- 附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法
- 附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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4。特種氣體工藝系統(tǒng)4，1，一般規(guī)定4.1,1,特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下列主要裝置 1，儲存、供氣的氣瓶柜,氣瓶架,集裝格.臥式氣瓶.長管拖車,2 氣體分配用閥門箱.閥門盤。3,輔助氮氣吹掃系統(tǒng) 4，尾氣處理裝置、4.1.2。特種氣體工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)滿足電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對特種氣體工藝參數(shù)，污染控制，使用安全的要求。4.1。3 不相容的特種氣體的排氣管道不得接入同一排氣系統(tǒng)、4、1,4，不相容的特種氣體的排風管道不得接入同一排風系統(tǒng).