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3。特種氣體站房3。1.一般規(guī)定3。1，1。在電子工廠設(shè)計(jì)中。當(dāng)供應(yīng)和儲(chǔ)存特種氣體量較少時(shí)，為減少氣體管道長(zhǎng)度.保證氣體質(zhì)量 特種氣體站房一般布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)一層的特種氣體間.當(dāng)供應(yīng)和儲(chǔ)存特種氣體量較多時(shí)，為了安全需要.規(guī)定應(yīng)將特種氣體站房布置在單獨(dú)的建，構(gòu),筑物內(nèi) 利用室外管道輸送特種氣體至用氣廠房、3，1.2,布置在生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間.用量相對(duì)較小，根據(jù)目前我國(guó)及歐美,日本等世界發(fā)達(dá)國(guó)家的特種氣體供應(yīng)情況，自燃性.易燃性，毒性,腐蝕性氣體多采用氣瓶柜供應(yīng)。氧化性 惰性氣體多采用氣瓶架以及氣體集裝格等多種形式供應(yīng)。3。1 3。布置在單獨(dú)建 構(gòu)，筑物或區(qū)域內(nèi)的特種氣體站 根據(jù)目前我國(guó)及歐美，日本等世界發(fā)達(dá)國(guó)家的特種氣體實(shí)際供應(yīng)情況 通常采用氣體集裝格 臥式氣瓶ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組，長(zhǎng)管拖車(chē)等供應(yīng)方式，3 1,4.本條規(guī)定了生產(chǎn)區(qū)特種氣體設(shè)備的布置原則與最大允許使用儲(chǔ)存量、因?yàn)殡娮庸I(yè)廠房的生產(chǎn)區(qū)要使用大量的特種氣體，這些特種氣體多具有自燃性，易燃性、劇毒性。毒性.腐蝕性.氧化性的危險(xiǎn)性質(zhì).為此，規(guī)定特種氣體在設(shè)置氣瓶柜，排風(fēng)裝置，生產(chǎn)區(qū)設(shè)置自動(dòng)消防噴淋系統(tǒng)的情況下、應(yīng)按照表3。1,4的數(shù)量布置特種氣體.這些數(shù)據(jù)是我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)多年來(lái)運(yùn)行經(jīng)驗(yàn)的總結(jié),與電子工業(yè)發(fā)達(dá)國(guó)家的規(guī)定相近。惰性氣體不在列表范圍,不受上述文件限制，雖然本條規(guī)定了特種氣體在生產(chǎn)區(qū)的布置要求，但是一般情況下、除非特種氣體因?yàn)樾再|(zhì)原因.如低蒸汽壓力氣體,或工藝有特殊要求.標(biāo)準(zhǔn)仍然建議將生產(chǎn)區(qū)的特種氣體數(shù)量 包括惰性氣體,降至最小值.盡可能將特種氣體放置在特種氣體間內(nèi)、便于集中管理控制，這符合行業(yè)慣例與安全要求,美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)、壓縮氣體及低溫流體規(guī)范、NFPA，55.2016第3.3條。一般定義,第6，2條,控制區(qū)，第6.3條.用房保護(hù)級(jí)別.和 國(guó)際防火規(guī)范，IFC、2018表2704、2，2，1 每個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)區(qū)危險(xiǎn)材料的數(shù)量限制,也做了相關(guān)的規(guī)定，上述NFPA，55.2016和IFC 2008的相關(guān)內(nèi)容摘錄如下,壓縮氣體及低溫流體規(guī)范。NFPA、55、2016,3 3、一般定義,3。3、6、1?？刂茀^(qū).建筑或建筑的一部分，該區(qū)域內(nèi)允許危險(xiǎn)性材料的儲(chǔ)存，輸送 使用、或操作,危險(xiǎn)性材料 HPM、的數(shù)量不應(yīng)該超過(guò)最大量,6,2?？刂茀^(qū)。6。2。1,建設(shè)需求?？刂茀^(qū)是按照表6，2,1的要求。用防火隔離相互分開(kāi)的區(qū)域。表6、2、1.控制區(qū)的設(shè)計(jì)和數(shù)量,注釋。上述表中的百分比是指表2.6 3，1 1.中的最大允許量。MAQ。及注釋中允許增加數(shù)量的比例、6，3。用房保護(hù)級(jí)別,6,3 1，2，超過(guò)MAQ的數(shù)量.當(dāng)室內(nèi)相關(guān)控制區(qū)儲(chǔ)存和使用低溫流體及壓縮氣體的數(shù)量超過(guò)表6 3 1 2的數(shù)量時(shí) 將按照第6章的相關(guān)章節(jié)的要求執(zhí)行.表6.3、1 2，每個(gè)控制區(qū)危險(xiǎn)材料的最大允許量、MAQ。注釋?zhuān)?.控制區(qū)的定義和使用請(qǐng)見(jiàn)本規(guī)范第6.2節(jié) 2 未摘錄。3、使用和儲(chǔ)存的總量不應(yīng)該超過(guò)儲(chǔ)存的量,特殊存放總量不允許超過(guò)建筑規(guī)范的限制,a.氣體測(cè)量為標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài) 20，和 101,3kPa，b 除非儲(chǔ)存和使用在氣體房間或批準(zhǔn)的氣體柜或密閉排風(fēng),及規(guī)范有說(shuō)明,上述氣體不允許儲(chǔ)存和使用在非噴淋的建筑內(nèi)。c，固定或移動(dòng)式容器具有壓力釋放裝置、并直接通往室外或排風(fēng)罩 d、當(dāng)材料酌情儲(chǔ)存或使用在批準(zhǔn)的柜體 氣瓶柜 密閉排風(fēng).氣體房時(shí),數(shù)量可以增加100.注釋e,也使用時(shí),兩個(gè)注釋的數(shù)量可以疊加增加.e，當(dāng)整個(gè)建筑按照NFPA 13設(shè)置有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)時(shí) 數(shù)量可以增加100、注釋d,也使用時(shí)、兩個(gè)注釋的數(shù)量可以疊加增加，f,移動(dòng)設(shè)備或槽車(chē)燃料儲(chǔ)罐內(nèi)可燃?xì)怏w量可以超過(guò)MAQ、儲(chǔ)存和操作的設(shè)備按照相關(guān)規(guī)范。j。僅僅允許放置在按照NFPA。13規(guī)范設(shè)計(jì)有自動(dòng)噴淋系統(tǒng)的建筑內(nèi),k,僅僅允許儲(chǔ)存和使用在氣體房間或批準(zhǔn)的氣瓶柜或密閉排風(fēng)，規(guī)范有特別說(shuō)明的地方,國(guó)際防火規(guī)范 IFC,2018.表2704、2、2。1每個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)區(qū)危險(xiǎn)材料的數(shù)量限制。注釋.a，管道內(nèi)的危險(xiǎn)性材料不包括在計(jì)算數(shù)量?jī)?nèi) b.每個(gè)半導(dǎo)體生產(chǎn)區(qū)的危險(xiǎn)材料的數(shù)量不應(yīng)超過(guò)表5003,1。1。1。和表5003,1,1 2.內(nèi)每個(gè)控制區(qū)的允許數(shù)量.編者注,與NFPA。55，2016表6,3、1 1才目同.c。符合ISO8115包裝要求的密集打包棉花不包括在上表的材料等級(jí)內(nèi)，d、可燃?xì)怏w.自燃?xì)怏w 毒性氣體和劇毒性氣體的總量不應(yīng)該超過(guò)0，2ft3.ft2或9000ft3,編者注，NFPA.55，2016上述氣體總量為56、92,1.1。2，8。151。9m3，5364ft3、小于IFC規(guī)定的9000ft3的允許量，e 在建筑內(nèi)自燃性氣體的總量不應(yīng)該超過(guò)表5003。8。2展示的數(shù)據(jù),編者注.為2000ft3、即57m3,與NFPA、55、2016表6.5相同 綜上所述 電子工廠生產(chǎn)廠房的生產(chǎn)區(qū)內(nèi)特種氣體的數(shù)量限制采用.NFPA 55,2016中每個(gè)控制區(qū)危險(xiǎn)材料的最大允許量、MAQ。是合適的、3.1、5,本條第1款、第2款為強(qiáng)制性條款.必須嚴(yán)格執(zhí)行.本條規(guī)定了特種氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)滿足的要求。特種氣體間應(yīng)設(shè)置排風(fēng)系統(tǒng)，房間應(yīng)運(yùn)行在負(fù)壓狀態(tài)是為了及時(shí)排除泄漏氣體和防止氣體間泄漏的氣體進(jìn)入相鄰房間或通道,杜絕事故擴(kuò)大、特種氣體間應(yīng)采用防火隔墻相互隔離是為了防止特種氣體間的火災(zāi)事故蔓延至相鄰房間 同時(shí),也規(guī)定了特種氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn) 建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范，GB,50016的有關(guān)規(guī)定,美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)，壓縮氣體及低溫流體規(guī)范。NFPA，55.2016的第6。4條、氣體室，也做了相關(guān)的規(guī)定，上述NFPA.55 2016的相關(guān)內(nèi)容摘錄如下，6 4.氣體間、因?yàn)闅怏w的特殊供應(yīng)需要,或材料的其他需要.或第7章至第16章涉及的特別使用需要等原因,氣體的儲(chǔ)存和用量超過(guò)閾值，最大允許量MAQ、時(shí) 氣體間的使用可以滿足這種要求。氣體間的設(shè)計(jì)應(yīng)符合第6,4、1條至第6.4 5條的規(guī)定。6、4。1 壓力控制、氣體間與相關(guān)的周邊區(qū)域相比、應(yīng)是處于負(fù)壓運(yùn)行環(huán)境.6、4.2.排風(fēng) 氣體間將提供排風(fēng)系統(tǒng)。6.4，3、建筑工程，氣體間的建設(shè)將滿足建筑規(guī)范的要求、6,4.4,分隔。氣體間將采與周邊區(qū)域用1h的防火隔離 6。4.5。容量的限制 儲(chǔ)存和使用壓縮氣體.相關(guān)設(shè)備.供應(yīng)部件的壓縮氣體房間的功能將受到限制,3、1。6.本條為強(qiáng)制性條文、必須嚴(yán)格執(zhí)行.本條的編制依據(jù)是美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn),壓縮氣體及低溫流體規(guī)范,NFPA。55.2016的第6 5條。獨(dú)立式建筑 的相關(guān)內(nèi)容。上述NFPA 55。2016的相關(guān)內(nèi)容摘錄如下。6，5，獨(dú)立式建筑 儲(chǔ)存和使用壓縮氣體包括獨(dú)立式大宗氫氣壓縮氣體系統(tǒng),當(dāng)數(shù)量超過(guò)表6.5指定的數(shù)量時(shí).應(yīng)設(shè)計(jì)獨(dú)立式建筑 建筑的建設(shè)應(yīng)符合建筑規(guī)范的相關(guān)規(guī)定,表6，5.材料數(shù)量超出了顯示量。需設(shè)置獨(dú)立式建筑，NFPA.55.2016規(guī)定是當(dāng)氣體間超過(guò)表3中規(guī)定值時(shí) 應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的氣體供應(yīng)站,考慮目前電子工業(yè)使用特種氣體的具體情況 本條只規(guī)定了自燃?xì)怏w超過(guò)57m3時(shí).應(yīng)該設(shè)置獨(dú)立的氣體站、表中不穩(wěn)定反應(yīng)氣體沒(méi)有在電子行業(yè)中使用。氫氣有專(zhuān)門(mén)規(guī)范定義。所以本條未納入這兩種氣體，自燃性氣體的燃爆危險(xiǎn)性較其他特種氣體更大 把超過(guò)一定數(shù)量的自燃?xì)怏w布置在獨(dú)立建筑，可以減少事故狀態(tài)下對(duì)主生產(chǎn)廠房的影響、這在工廠設(shè)計(jì)中是非常必要的,也是行業(yè)內(nèi)的通用做法。雖然本條只對(duì)自燃性氣體設(shè)置獨(dú)立的大宗氣體站的儲(chǔ)量進(jìn)行了規(guī)定。但是，當(dāng)電子工廠的其他特種氣體危險(xiǎn)性較大。儲(chǔ)存量較多,且氣體適合較遠(yuǎn)距離輸送時(shí) 標(biāo)準(zhǔn)仍然建議在工廠設(shè)置獨(dú)立的大宗特種氣體站,3，1 7，低蒸汽壓力特種氣體供應(yīng)設(shè)施宜靠近工藝設(shè)備是考慮這些氣體的蒸汽壓力較低.從氣瓶柜到工藝設(shè)備的輸送距離應(yīng)盡可能短.3.1。8。生產(chǎn)廠房?jī)?nèi)的特種氣體間集中布置在一樓或其他輔助樓層靠外墻位置的主要理由有.一是特種氣體的氣瓶架，氣瓶柜 臥式氣瓶的實(shí)瓶運(yùn)進(jìn)和空瓶運(yùn)出方便性、二是按照現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn).建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范.GB 50016的有關(guān)規(guī)定,易燃易爆特種氣體間在建筑設(shè)計(jì)上應(yīng)設(shè)置防爆措施,特種氣體間的外墻可以設(shè)計(jì)為泄爆面,三是集中布置便于進(jìn)行安全管理.四是集中布置有利于特種氣體間的空調(diào)。排放 排氣,GMS GDS的合理設(shè)計(jì)，