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1。總則1,0,1 本條是本標(biāo)準(zhǔn)的宗旨，鑒于電子工廠大部分的特種氣體具有自燃、易燃、毒性、腐蝕性.氧化性的特點(diǎn)、同時(shí)許多特種氣體都具有窒息性、密閉性好的電子工廠廠房?jī)?nèi)窒息性氣體對(duì)人員的危害性不可忽視，所以。電子工廠中特種氣體站房的設(shè)計(jì)，建造對(duì)于確保財(cái)產(chǎn)安全.生命安全都十分重要，隨著國(guó)內(nèi)電子工廠特別是半導(dǎo)體器件 集成電路，光電器件類(lèi)電子工廠。如大規(guī)模和超大規(guī)模集成電路工廠 薄膜晶體管液晶顯示器,TFT LCD、工廠、太陽(yáng)能電池工廠,電子材料工廠等建設(shè)的日益增多、特種氣體系統(tǒng)的應(yīng)用越來(lái)越廣。因此,特種氣體站房及其系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，施工和驗(yàn)收要采取相應(yīng)的防火 防毒 防腐蝕和防窒息等安全措施.正確貫徹實(shí)施國(guó)家有關(guān)環(huán)境保護(hù).節(jié)約能源等各種法律法規(guī)、同時(shí).系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要具有先進(jìn)性和經(jīng)濟(jì)性。1，0.2 1、0、3,本標(biāo)準(zhǔn)適用范圍是從外購(gòu)特種氣體與其附屬設(shè)備在工廠內(nèi)的站房開(kāi)始到工藝設(shè)備之間的系統(tǒng)工程的設(shè)計(jì)。施工和驗(yàn)收 不包含特種氣體的制取.提純、罐裝系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 施工和驗(yàn)收。本標(biāo)準(zhǔn)主要適應(yīng)于電子工廠的工程設(shè)計(jì)、施工和驗(yàn)收，科研院校的實(shí)驗(yàn)室，小型車(chē)間的特種氣體系統(tǒng)可參考執(zhí)行，1，0.4。鑒于特種氣體具有易燃易爆。毒性大，腐蝕性強(qiáng)的特點(diǎn)。結(jié)合國(guó)家倡導(dǎo)的綠色環(huán)保 以人為本理念.特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和施工應(yīng)符合國(guó)家相關(guān)政策要求，與本標(biāo)準(zhǔn)有關(guān)的國(guó)家現(xiàn)行標(biāo)準(zhǔn).規(guī)范主要有。建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范、GB 50016,爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范、GB.50058 氫氣站設(shè)計(jì)規(guī)范。GB 50177，工業(yè)金屬管道設(shè)計(jì)規(guī)范.GB.50316,自動(dòng)噴水滅火系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范,GB、50084、工業(yè)企業(yè)設(shè)計(jì)衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。等。