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4、3,吹掃和排氣系統(tǒng)4。3.1、特種氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1、自燃性，易燃性.毒性,腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨(dú)立的氣源連接.不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連、2 不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源、3.吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥,4、3.2 吹掃氮?dú)獾臍怏w面板應(yīng)設(shè)有壓力調(diào)節(jié)閥、排氣管,高低壓截止閥、高低壓壓力指示裝置、安全閥，4，3.3.特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1.真空發(fā)生器宜采用氮?dú)庾鳛橐錃庠矗?，抽真空用氮?dú)饪捎晒闷胀ǖ獨(dú)夤┙o、自燃性和腐蝕性氣體，氮?dú)夤?yīng)管道應(yīng)設(shè)置止回閥和微漏閥 4，3.4、特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定,1.特種氣體系統(tǒng)的排氣管應(yīng)設(shè)置氮?dú)庀♂屌c連續(xù)吹掃裝置 2、自燃性，易燃性，毒性。腐蝕性特種氣體的排空氣體應(yīng)經(jīng)過(guò)尾氣處理裝置處理，處理后的氣體應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家廢氣排放要求 4、3,5.特種氣體尾氣處理裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1、尾氣處理裝置的類型 應(yīng)根據(jù)所處理的排氣中特種氣體的特性進(jìn)行選擇。不相容特種氣體應(yīng)分別設(shè)置尾氣處理裝置,2，尾氣處理裝置應(yīng)靠近特種氣體柜,氣瓶架等特種氣體設(shè)備布置，3、特種氣體的尾氣處理方法宜采用干式吸附,濕式洗滌,加熱分解,燃燒，等離子分解 稀釋及以上幾種處理方式的組合,