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- 特種氣體系統(tǒng)工程技術(shù)標(biāo)準(zhǔn) GB 50646-2020
- 條文說明
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 特種氣體站房
- 4 特種氣體工藝系統(tǒng)
- 5 生命安全系統(tǒng)
- 6 特種氣體管道輸送系統(tǒng)
- 7 建筑結(jié)構(gòu)
- 8 電氣與防雷
- 9 公用工程
- 10 特種氣體系統(tǒng)工程施工
- 11 特種氣體系統(tǒng)工程驗(yàn)收
- 附錄A 特種氣體管道氦檢漏方法
- 附錄B 電子工業(yè)用特種氣體的主要物化性質(zhì)(單一氣體)
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2 術(shù)語。本章所列術(shù)語、定義是根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)的范圍和特種氣體的特性以及儲(chǔ)存.輸送的實(shí)際需要進(jìn)行制定.在制定相關(guān)術(shù)語時(shí)還依據(jù)美國消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn),壓縮氣體及低溫流體規(guī)范、Compressed，Gases，and。Cryogenic，F(xiàn)luids，Code NFPA。55,2016版、建筑建設(shè)和安全規(guī)范、Building。Construction.and Safety、Code.NFPA、5000、2018版,美國國家標(biāo)準(zhǔn)學(xué)會(huì) ANSI。標(biāo)準(zhǔn).硅烷和硅烷混合物的儲(chǔ)存和輸送，Storage,and Handling.of.Silane and Silane、Mixture，ANSI。CGA 13，2015版中的有關(guān)規(guī)定。如本節(jié)第2 0 16條 生產(chǎn)區(qū) fabrication。area.是按照NFPA.5000、2018中的3、3、35、5 fabrication。area，制定的。該條的內(nèi)容摘錄如下.3,3.35.5 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備及相關(guān)研發(fā)區(qū)域,在該區(qū)域內(nèi) 有些工藝生產(chǎn)需要使用危險(xiǎn)性生產(chǎn)材料。HPM。如本節(jié)第2、0、22條 ISO標(biāo)準(zhǔn)集裝瓶組。是按照ANSI，CGA。13，2015中的3。2。4.1、2、ISO模塊、制定的、該條的內(nèi)容摘錄如下、3，2.4 1、2。采用集氣管將氣體鋼瓶,長管鋼瓶或氣瓶集裝格相互連接并安裝在專用金屬框架上的組合集裝模塊、ISO模塊的框架及其角件都經(jīng)過特殊設(shè)計(jì)，其尺寸適合于集裝箱船，高速公路集裝箱半掛車和鐵路運(yùn)集裝箱的多模運(yùn)輸.本章的特種氣體不包括電子工業(yè)中常用的五種大宗氣體。即氮?dú)?。氫氣、氧氣，氬氣和氦氣?