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4,4、硅烷工藝系統(tǒng)4，4 1、硅烷工藝系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)根據(jù)下列因素確定,1,硅烷站的規(guī)模 2。硅烷的物理化學性質(zhì)，3.當?shù)毓柰楣?yīng)的充裝，運輸狀況、4、用戶對硅烷純度，壓力和負荷變化的要求,4,4。2。硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)有硅烷容器 氣體面板,閥門箱及連接管道,4.4、3、硅烷氣體面板應(yīng)包括減壓過濾,吹掃、排氣 安全控制的功能,4.4。4、硅烷系統(tǒng)必須采用獨立的惰性氣源進行吹掃.4，4。5。硅烷閥門箱設(shè)置除應(yīng)符合本標準第4。2 6條的規(guī)定外.還應(yīng)配置惰性氣體吹掃裝置,氣體泄漏探測器和紫外紅外火焰探測器。4.4、6 硅烷系統(tǒng)的排氣裝置的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1 硅烷系統(tǒng)的排氣管不得接入排風系統(tǒng)、2 排氣管應(yīng)采用惰性氣體連續(xù)吹掃、吹掃氣體流速不得小于0，3m,s，4、4.7。硅烷連接管道鋼瓶側(cè)應(yīng)設(shè)置常閉式緊急切斷閥 硅烷站的安全出口應(yīng)設(shè)置手動緊急切斷按鈕。至少有一個手動緊急切斷按鈕與輸送裝置的距離不應(yīng)小于4.6m。4、4，8。硅烷系統(tǒng)閥門、附件的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定、1。硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)采用金屬材質(zhì)的波紋管閥 隔膜閥 調(diào)壓閥。2.硅烷輸送系統(tǒng)應(yīng)根據(jù)流量配置不同直徑的限流孔板。3 硅烷系統(tǒng)應(yīng)配置過流開關(guān)。緊急切斷閥.調(diào)壓閥的加熱裝置應(yīng)根據(jù)流量核算確定,