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4。特種氣體工藝系統(tǒng)4,1。一般規(guī)定4、1、1.4 1，2，特種氣體輸送系統(tǒng)是電子工廠中危險(xiǎn)性重大的設(shè)施或場(chǎng)所、一旦特種氣體系統(tǒng)發(fā)生泄漏都可能造成人員。廠房 設(shè)備的嚴(yán)重?fù)p失、如特種氣體中的硅烷為自燃性,一旦泄漏就會(huì)與空氣中的氧氣發(fā)生劇烈反應(yīng),開始燃燒,砷烷為劇毒性.微量泄漏就可能導(dǎo)致人員的生命危險(xiǎn) 因此,對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全性要求十分嚴(yán)格，特種氣體輸送系統(tǒng)應(yīng)保證生產(chǎn)工藝設(shè)備對(duì)流量，壓力.溫度等的工藝參數(shù)要求,為此,在氣源一端一般要配置高精度的流量計(jì)，壓力變送器,電子秤 溫控器等.對(duì)于大宗特種氣體系統(tǒng)。不但要考慮管路壓降和液化鋼瓶蒸發(fā)吸熱對(duì)流量的影響、還要考慮特種氣體經(jīng)過調(diào)壓閥減壓后的焦耳 湯普遜效應(yīng)。部分特種氣體減壓后 溫度會(huì)降低、甚至液化,這會(huì)造成輸送壓力的不穩(wěn)定以及管路系統(tǒng)的損壞、因此需要考慮在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱.在管路吹掃,測(cè)試檢驗(yàn)等每一個(gè)環(huán)節(jié)應(yīng)采取措施，使特種氣體工藝的設(shè)計(jì)滿足電子工廠生產(chǎn)工藝的要求，例如在更換鋼瓶后,可能有一段管路被外界氣體污染 所以要求管路設(shè)計(jì)應(yīng)滿足對(duì)此段管路以氮?dú)膺M(jìn)行反復(fù)沖吹 使其符合供應(yīng)質(zhì)量的要求 為此.特種氣體工藝系統(tǒng)應(yīng)將鋼瓶置于氣瓶柜內(nèi)或氣瓶架上.大宗特種氣體應(yīng)采用集裝格、臥式氣瓶、長管拖車作為供氣裝置。并應(yīng)在生產(chǎn)工藝設(shè)備臨近處設(shè)置特種氣體的閥門箱 閥門盤,輔助氮?dú)獯祾呦到y(tǒng),尾氣處理裝置等。以保證特種氣體系統(tǒng)的安全和工藝對(duì)特種氣體質(zhì)量的要求.為滿足電子產(chǎn)品工藝對(duì)特種氣體工藝參數(shù).污染控制.使用安全的要求 并按照行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)。氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程，TSG、R0006.2014。6,7、1 4,瓶內(nèi)氣體不能用盡,壓縮氣體 溶解乙炔氣氣瓶的剩余壓力不小于0,05MPa。液化氣體，低溫液體氣瓶要有不小于0.5.1、0，規(guī)定充裝量的剩余氣體.同時(shí)、鑒于半導(dǎo)體工藝對(duì)氣體品質(zhì)要求非常高。5N以上.而且氣瓶里的氣體由于氣體固有特性和包裝物的特性、使用到后期時(shí)。剩余氣體的雜質(zhì)成分會(huì)慢慢析出。不純物濃度越來越高。所以按照經(jīng)驗(yàn)設(shè)定剩余量為10。且液相不宜用干.4、1 3。為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害。不相容的特種氣體的排氣體管道不得接入同一排氣系統(tǒng)，為此、做了本條的規(guī)定，4、1、4、工程實(shí)踐表明、特種氣體系統(tǒng)的排風(fēng)管道將不可避免地帶入濃度不同的特種氣體、為防止不相容特種氣體相遇發(fā)生反應(yīng)帶來安全危害。本條規(guī)定不相容的特種氣體的排風(fēng)管道不得接入同一排風(fēng)系統(tǒng)