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5，2,特種氣體探測系統(tǒng)5、2.1、本條是對電子工廠中設(shè)置特種氣體探測器位置的區(qū)域或場所的規(guī)定。本條第1款。第5款為強制性條款，必須嚴格執(zhí)行、1,3。自燃性.易燃性,劇毒性,毒性,腐蝕性氣體儲存、分配設(shè)備的排風口。因發(fā)生特種氣體泄漏?？赡苓_到規(guī)定報警濃度.應(yīng)設(shè)氣體探測器.4、使用惰性氣體房間應(yīng)設(shè)置氧氣探測器,主要是因為惰性氣體泄漏后.可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業(yè)人員造成窒息、且國內(nèi)外已有多個工廠發(fā)生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故。5,自燃性、易燃性 劇毒性.毒性，腐蝕性氣體儲存、分配間內(nèi)的氣體發(fā)生泄漏。易積聚處應(yīng)設(shè)氣體探測器.主要是因為氣體儲存、分配間的體積相對于生產(chǎn)區(qū)較小。發(fā)生泄漏容易聚集.并達到報警的數(shù)字 6，自燃性、易燃性.劇毒性 毒性 腐蝕性氣體的使用場所是指使用以上氣體的工藝設(shè)備房間內(nèi).氣體操作箱等氣體可能發(fā)生泄漏處附近 技術(shù)夾層內(nèi)氣體探測器是設(shè)置在有閥門箱等可能發(fā)生氣體泄漏 易積聚的設(shè)備內(nèi)，國際防火規(guī)范.IFC.2018第2703 13條,氣體探測系統(tǒng)、也做了規(guī)定,該條款摘錄如下，27章,半導體生產(chǎn)裝置。2703，13.氣體探測系統(tǒng),符合916節(jié)的氣體探測系統(tǒng)將用于HPM氣體。按照2703、13，1至2703，13、2，2的要求。氣體和易燃性氣體的生理學報警閾值高于可接受允許暴露限制,Permissible,Exposure。Limit PEL，2703 13 1，氣體偵測器需要布置的地方,2703.13 1，1至2703.13、1、4節(jié)規(guī)定了氣體偵測器應(yīng)布置的區(qū)域，2703,13 1.1.生產(chǎn)區(qū)、使用HPM氣體的電子生產(chǎn)區(qū)域應(yīng)設(shè)置氣體偵測器、2703.13.1、2,HPM房間、使用HPM氣體的HPM房間應(yīng)設(shè)置氣體偵測器,2703,13,1.3,氣體柜,密閉排風和氣體房間.HPM氣體的氣瓶柜和密閉排風環(huán)境、HPM氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風的環(huán)境應(yīng)設(shè)置氣體偵測器，2703。13、1.4,走道 HPM氣體穿越由墻.地面，頂面構(gòu)成的走道應(yīng)設(shè)置氣體偵測器，5，2 2 由于自燃性。易燃性.有毒氣體一旦泄漏超過規(guī)定值。危害性極大，為此做了本條規(guī)定，一級報警后,即使氣體濃度發(fā)生變化、報警仍應(yīng)持續(xù).只有經(jīng)人工確認并采取相應(yīng)的措施后才能停止報警，特種氣體探測系統(tǒng)檢測裝置主要有以下幾種.1、自燃性,易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢測裝置。半導體檢測裝置,電化學檢測裝置、2，毒性氣體檢測采用電化學檢測裝置 3,根據(jù)使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式、正確選用擴散式檢測裝置，單點或多點吸入式氣體檢測裝置,5 2，3。為了明確檢測報警裝置的工作狀況，防止事故發(fā)生，本條規(guī)定了自燃性.易燃性、毒性氣體檢測裝置報警設(shè)定值的要求,本條第1款。第3款為強制性條款,必須嚴格執(zhí)行,1 本款規(guī)定了自燃性。易燃性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值.一級報警設(shè)定值不應(yīng)大于25.易燃性氣體爆炸濃度下限值、二級報警設(shè)定值不應(yīng)大于50、易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時,通過一次和二次監(jiān)測報警 自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥。關(guān)斷氣源 防止事態(tài)擴大。采用25、和50.分別作為一級和二級報警值時行業(yè)內(nèi)的通常做法.既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸,2,本款規(guī)定了劇毒性。毒性氣體的一級報警和二級報警設(shè)定值，目的是在氣體早期泄漏時，自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥.保護工作人員的生命安全.一級、二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的。3,本款規(guī)定了惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設(shè)定值,目的是為了防止惰性氣體泄漏導致人員窒息傷亡 氧氣探測器一旦報警,啟動應(yīng)急排風和自動關(guān)閉應(yīng)急切斷閥.保護工作人員的生命安全 一級.二級報警設(shè)定值也是根據(jù)國內(nèi)外多年的使用經(jīng)驗規(guī)定的,4，本款規(guī)定二氧化碳氣體系統(tǒng)宜設(shè)二氧化碳氣體探測器.主要是因為近年來。電子工廠發(fā)生二氧化碳泄漏導致人員傷亡的情況,為保護人員生命安全.制定本款。目前國內(nèi)電子工廠多采用5000ppm作為C02的報警值、美國消防協(xié)會標準。壓縮氣體和低溫液體規(guī)范 NFPA、55,2016第A,13.6.2.1條也做了規(guī)定、美國政府工業(yè)衛(wèi)生醫(yī)師學會,ACGIH.關(guān)于TLVS和BEIS、即化學物質(zhì) 物理藥物和生物暴露數(shù)組的臨界極限數(shù)組 TLVS、C02的最高允許濃度值，時間加權(quán)平均容許濃度。TLV，TWA。確定為5000ppm，短期數(shù)組、STEL、TLV,為30000ppm，5。2，4。本條確定的數(shù)值符合現(xiàn)行國家標準。石油化工可燃氣體和有毒氣體檢測報警設(shè)計標準 GB，50493中的有關(guān)規(guī)定。同時結(jié)合半導體工廠使用氣體檢測裝置產(chǎn)品的快速響應(yīng)要求做出檢測報警響應(yīng)時間規(guī)定，5、2.5。氣體探測器的設(shè)置位置是否恰當將直接影響到能否及時，正確報警、為確保生產(chǎn)廠房和特種氣體系統(tǒng)安全，穩(wěn)定運行、本條按特種氣體相對密度的不同.做出了氣體探測器的設(shè)置位置不同的規(guī)定，5，2。6,本條為強制性條文,必須嚴格執(zhí)行。規(guī)定在硅烷排風管道中設(shè)置氣體探測器、設(shè)定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯(lián)鎖。目的是為了硅烷系統(tǒng)能做到早期報警、防止事故產(chǎn)生,規(guī)定硅烷站設(shè)置環(huán)境氣體探測器 設(shè)定報警值但不與硅烷自動控制系統(tǒng)聯(lián)鎖.這是為了防止環(huán)境中的硅烷氣體探測器誤報警導致影響正常生產(chǎn)。綜合考慮安全與生產(chǎn)的關(guān)系后 規(guī)定報警但不切斷輸送系統(tǒng) 工作人員可在不停產(chǎn)的情況下，確認報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報、美國國家標準學會標準，硅烷和硅烷混合物的儲存和操作、ANSI.CGA，G，13、2015第11，1、4,1條,排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控。和11、1，4、2條、排風區(qū)域外的監(jiān)控、也做了規(guī)定.現(xiàn)摘錄如下 11，1.4,1，排風區(qū)域內(nèi)的監(jiān)控,排風區(qū)域應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置、當硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時 氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警.11 1，4、2,排風區(qū)域外的監(jiān)控 排風區(qū)域外應(yīng)設(shè)置監(jiān)控裝置.當硅烷氣體濃度小于或等于5ppm時、氣體監(jiān)控系統(tǒng)啟動報警、