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6，2，材料選型6、2 1，工程實踐表明。電子工廠特種氣體和吹掃氣體管道輸送系統(tǒng)常用管道材料應采用SS304。SS316 SS316L等不銹鋼無縫鋼管和HC 22哈氏合金無縫鋼管等.根據(jù)特種氣體品種和純度 雜質(zhì)含量要求。特種氣體管道內(nèi)表面應進行潔凈和鈍化處理,管道內(nèi)表面粗糙度,對BA管道要求小于Ra40.EP管道要求小于Ra25、為此，本條做此原則性規(guī)定、6 2、2，普通不銹鋼只進行初級熔煉 常用熔煉方式有氬氧脫碳AOD、Argon Oxygen Decarburization.真空感應熔煉VIM Vacuum、Induction.Melt，但輸送腐蝕性特種氣體，為減輕腐蝕，管道材料宜采用經(jīng)過二次熔煉、精煉，的工藝及真空電弧重熔VAR。Vacuum，Arc Remelt。等工藝。二次真空電弧熔煉的奧氏體不銹鋼或鎳基合金無縫鋼管.此種管材具有較強的抗腐蝕性能 管道內(nèi)表面進行EP處理?？赏瑫r滿足潔凈和鈍化的目的,6,2、3,近年來的工程實踐表明。電子工廠的特種氣體管道系統(tǒng)應采用隔膜閥，波紋管閥等、這些閥門的閥座密封材料應盡量減少應用塑料聚合物等材料的使用量 因為這些材料易逸出氣體 容易影響氣體純度或引起化學反應、為此還應注意選些材料時應與具體特種氣體的物理化學性質(zhì)匹配.如氨氣 NH3.禁止使用氟化橡膠.Viton.材料、笑氣 N2O 應使用聚酰亞胺樹脂，Vespel.材料等。6，2。4，在保證安全和工藝要求的前提下.節(jié)省投資也是工程設計的重要內(nèi)容.為此 本條規(guī)定了雙層管的外管作為安全保護的第二道屏障,采用SS304材料即可滿足要求 且一般不做特殊的潔凈要求,6.2。5 排氣管道和尾氣真空管道對管道材質(zhì)沒有特殊要求。采用SS304管道即可滿足要求、在實際工程中.也有排氣管道采用PVC材料。6、2，6，本條為強制性條文 必須嚴格執(zhí)行.為避免管道內(nèi)油脂與氧化性介質(zhì)發(fā)生反應.產(chǎn)生燃燒等嚴重后果.本條規(guī)定管道氧化性氣體管道應經(jīng)過嚴格的脫脂處理