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4 2。特種氣體輸送系統(tǒng)4 2,1 特種氣體系統(tǒng)的氣瓶柜，氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定。1、氣瓶柜與氣瓶架可采用單工藝氣瓶外置吹掃氣源、雙工藝氣瓶外置吹掃氣源 雙工藝氣瓶?jī)?nèi)置吹掃氣源等多種結(jié)構(gòu)配置.2 不相容氣體瓶不應(yīng)放置于同一氣瓶柜或氣瓶架中 3。氣瓶柜，氣瓶架應(yīng)設(shè)置作業(yè)用氣體面板.4。系統(tǒng)的供應(yīng)能力應(yīng)經(jīng)過熱力學(xué)和流體力學(xué)計(jì)算核實(shí)、5。氣瓶柜閉門時(shí)應(yīng)保持不低于100Pa負(fù)壓 柜內(nèi)的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于300次,h，6，自燃性,易燃性、毒性 腐蝕性氣瓶柜應(yīng)在排風(fēng)出口設(shè)置固定式氣體泄漏探測(cè)器，7,氣瓶柜柜體外殼鋼板厚度不應(yīng)小于2、5mm，并應(yīng)有防腐蝕涂層 8。氣瓶柜門應(yīng)具備自動(dòng)關(guān)閉功能.并應(yīng)配備防爆玻璃觀察窗，氣瓶柜的固定螺栓設(shè)計(jì)應(yīng)滿足當(dāng)?shù)氐卣鹪O(shè)防烈度的要求。9 氣瓶柜.氣瓶架應(yīng)設(shè)置清晰明確的安全標(biāo)識(shí)牌、10.當(dāng)氣瓶柜放置在有爆炸和火災(zāi)危險(xiǎn)環(huán)境時(shí).其設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，爆炸危險(xiǎn)環(huán)境電力裝置設(shè)計(jì)規(guī)范，GB 50058的有關(guān)規(guī)定，4。2.2,特種氣體的氣瓶柜.氣瓶架的氣體面板設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定，1.自燃性 易燃性。毒性,腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有緊急關(guān)斷閥門 并應(yīng)為常閉氣動(dòng)閥門、位置應(yīng)靠近氣瓶.2、氣瓶壓力大于0 1MPa的自燃性，易燃性,毒性 腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有過流開關(guān),3 自燃性，易燃性 毒性，腐蝕性氣體面板應(yīng)設(shè)有惰性氣體吹掃。輔助抽真空裝置，真空管路應(yīng)設(shè)止回閥,4，氣體面板應(yīng)設(shè)置工藝氣體排氣口,4，2,3.可燃和自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)符合下列規(guī)定，1、當(dāng)硅烷氣瓶使用直徑0，25mm限流孔時(shí) 氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于1200次、h,當(dāng)使用直徑0、15mm限流孔時(shí)、氣瓶柜的排風(fēng)換氣次數(shù)不得低于400次、h,且氣瓶柜的負(fù)壓應(yīng)連續(xù)監(jiān)控，2、自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置紫外。紅外火焰探測(cè)器、3.易燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)設(shè)置水噴淋系統(tǒng)、4,自燃性特種氣體的氣瓶柜應(yīng)在氣瓶之間設(shè)置隔離鋼板.4，2.4.大宗特種氣體系統(tǒng)應(yīng)符合下列規(guī)定，1.應(yīng)設(shè)置獨(dú)立氣瓶.儲(chǔ)罐或長(zhǎng)管拖車等的壓力指示或鋼瓶稱重裝置.連接回型管 氣流控制的氣體面板，吹掃氮?dú)鈫卧?電氣控制柜等裝置.2 大宗特種氣體系統(tǒng)的功能配備應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4.2.1條的有關(guān)規(guī)定。3，液態(tài)氣體瓶應(yīng)設(shè)計(jì)鋼瓶加熱與保溫裝置，4,減壓降溫效應(yīng)顯著的氣體,應(yīng)在減壓前對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱 4,2，5，液態(tài)特種氣體系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定,1，應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的液體槽罐、液體輸送柜 連接回型管。驅(qū)動(dòng)氣體單元,吹掃氮?dú)鈫卧姎饪刂乒?重量計(jì)量等裝置。2。液態(tài)特種氣體系統(tǒng)宜利用驅(qū)動(dòng)氣體壓力將液態(tài)特種氣體從槽罐輸送至液態(tài)特種氣體柜，或從液態(tài)特種氣體柜直接驅(qū)動(dòng)輸送至用氣工藝設(shè)備 液態(tài)特種氣體亦可采用泵送，3 用氣點(diǎn)應(yīng)設(shè)置鼓泡器或蒸發(fā)器,將液態(tài)特種氣體鼓泡或直接蒸發(fā),以汽化形式輸送至工藝反應(yīng)設(shè)備 4，液態(tài)特種氣瓶柜功能設(shè)置應(yīng)符合本標(biāo)準(zhǔn)第4 2.1條的有關(guān)規(guī)定,5。具有自燃性和遇水反應(yīng)性的金屬有機(jī)物前驅(qū)體液體 供應(yīng)柜應(yīng)設(shè)置相應(yīng)滅火系統(tǒng).底部應(yīng)設(shè)置收集槽 并應(yīng)放置吸附材料，4 2，6，自燃性.易燃性。毒性.腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的閥門箱設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定,1。應(yīng)設(shè)置進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置，2 氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥、過濾器、3。氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的出口隔離閥 4,氣體分支路應(yīng)設(shè)置獨(dú)立的吹掃氣體裝置、4，2.7。惰性及氧化性特種氣體系統(tǒng)的閥門盤設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1、應(yīng)設(shè)有進(jìn)氣管路隔離閥及壓力指示裝置，2。氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立的壓力控制調(diào)節(jié)閥 過濾器,3，氣體支路應(yīng)設(shè)有獨(dú)立出口隔離閥門。4、2。8 負(fù)壓氣源特種氣體的氣瓶柜.氣瓶架的設(shè)置應(yīng)符合負(fù)壓氣源特種氣體的特性。