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6。3 管道設(shè)計6、3,1,由于電子工廠應(yīng)用的特種氣體的品種多、且每種氣體的使用量較小的實際情況.特種氣體管道系統(tǒng)的管道設(shè)計中應(yīng)充分考慮所輸送的流體品種及其特性以及產(chǎn)品生產(chǎn)工藝所要求的動力。流量等參數(shù)進行設(shè)計、為此做了本條規(guī)定 管材通常采用美國機械工程師協(xié)會ASME B36、10標準的Sch5或Sch10的管道,但是設(shè)計要符合現(xiàn)行國家標準，工業(yè)金屬管道設(shè)計規(guī)范，GB、50316的規(guī)定。6,3,2.電子產(chǎn)品生產(chǎn)設(shè)備用特種氣體的用量較小、壓力較低,因此 在進行管道水力計算時應(yīng)充分考慮流量 壓力,溫度等參數(shù)、按照流量設(shè)計圖表對管道進行設(shè)計計算,目前電子工廠中的大多數(shù)特種氣體管道的管徑較小。一般不超過DN25，6，3。3，由于電子工廠使用的特種氣體要求具有較高的純度 所以對輸送管道的材質(zhì)有嚴格的要求 目前主要是采用進口的低碳不銹鋼管道。如EP管.BA管等.表3是不銹鋼管外徑和壁厚規(guī)格.電子行業(yè)常用的是美標和日標規(guī)格.表3.不銹鋼管道外徑壁厚規(guī)格6，3,4、為了保證液體的流動 本條規(guī)定液態(tài)特種氣體水平管道應(yīng)有不小于0 3,的坡度 坡度應(yīng)坡向供液設(shè)備或收集器、6、3.5，由于自燃性 劇毒性和強腐蝕性氣體一旦泄漏。危害性極大，將會造成較大的人身傷亡和財產(chǎn)損失,目前在電子工廠中較多地采用雙層管道輸送這類特種氣體。屬于這類特種氣體的主要有強反應(yīng)性氣體 B2H6、H2Se,GeH4。SiH4.Si2H6，SiH3CH3 C2H2，B.CH3，3、F2。ClF3等。自燃性氣體、B2H6,GeH4.SiH4，Si2H6.SiH3CH3。B、CH3。3等,劇毒性氣體 AsH3 PH3、GeH4，B2H6.H2Se、F2 B，CH3。3，NO、ClF3 PF5等、但是在工程實際中 由于每一個工廠對氣體特性的理解不同.從而導(dǎo)致同一種高危險性氣體在不同工廠所使用的管道不一致。6 3,6。為防止低蒸汽壓力氣體在輸送過程中，因為冷卻導(dǎo)致液化。導(dǎo)致輸送困難.無法使用，本條規(guī)定低蒸汽壓力氣體應(yīng)設(shè)置伴熱或保溫措施、電子工廠應(yīng)用的低蒸汽壓氣體主要有BCl3，C5F8,WF2，SiH2Cl2、ClF3等，6、3。7，為防止特種氣體的泄漏和確保管道焊接質(zhì)量,特種氣體管道宜采用全自動管道焊接連接、與閥門或管件連接處、應(yīng)采用徑向面密封連接,VCR連接.規(guī)定不宜采用螺紋或法蘭連接的目的也是防止氣體在連接處發(fā)生泄漏。6、3,8.隔膜閥和波紋管閥都具有良好的密封性。且不易產(chǎn)生顆粒。而球閥。旋塞閥等，因采用填料密封。密封性較差 易發(fā)生泄漏。且閥門開關(guān)時有部件摩擦,易產(chǎn)生顆粒。不能滿足特種氣體的輸送過程的嚴格要求.6,3.9 為防止密封墊片與特種氣體性質(zhì)的不相容而產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)、規(guī)定墊片宜采用不銹鋼或鎳墊片，墊片與特種氣體的性質(zhì)應(yīng)該相容.6 3 10.特種氣體鋼瓶接口處。在每次更換鋼瓶時,因摩擦作用易產(chǎn)生顆粒,因此其下游宜設(shè)置過濾器，保護閥門的膜片和下游氣體不被污染。為了保證特種氣體的純度，在接入生產(chǎn)工藝設(shè)備前的特種氣體管道上宜設(shè)置精密過濾器