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4，3、吹掃和排氣系統(tǒng)4。3 1.本條為強(qiáng)制性條文,必須嚴(yán)格執(zhí)行。根據(jù)美國(guó)消防協(xié)會(huì)標(biāo)準(zhǔn) 半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)施防護(hù)標(biāo)準(zhǔn) NFPA。318、2018第7.1。4條的相關(guān)條文對(duì)特殊氣體系統(tǒng)吹掃氣體的設(shè)置做了規(guī)定 7。1。4，4,吹掃面板的設(shè)計(jì)應(yīng)防止吹掃氣體和工藝氣體的返流與交叉污染。7、1.4、7、危險(xiǎn)性氣體鋼瓶的吹掃面板應(yīng)配置專用吹掃鋼瓶 7,1，4.7,1.相容氣體的吹掃面板可以共用一支吹掃鋼瓶 7。1，4,8。危險(xiǎn)性氣體鋼瓶的吹掃面板不得使用大宗氣體氣源 1 本款規(guī)定自燃性。易燃性。毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體應(yīng)與獨(dú)立的氣源連接，不得與公用氣源或工藝氣源系統(tǒng)相連，目的是為了防止上述危險(xiǎn)性特種氣體污染公用和工藝氣源系統(tǒng)，2、本款規(guī)定不相容性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體不得共用同一氣源，目的是防止操作不當(dāng)造成不相容的特種氣體混合后造成污染和發(fā)生不良反應(yīng) 3、本款規(guī)定吹掃氣體管線應(yīng)設(shè)置止回閥 目的是為了防止自燃性，易燃性.毒性、腐蝕性特種氣體系統(tǒng)的吹掃氣體被本質(zhì)特種氣體污染、引發(fā)著火 中毒或設(shè)備拉壞等事故，4，3、2、本條從特種氣體質(zhì)量及系統(tǒng)安全的方面規(guī)定了吹掃氮?dú)獾臍怏w面板的設(shè)置要求 當(dāng)調(diào)壓閥下游的管件耐壓等級(jí)低于吹掃氣瓶的最高壓力，且未設(shè)置超壓氣源自動(dòng)切斷裝置時(shí)、應(yīng)設(shè)置安全閥。避免低壓閥件損壞.4。3。3,本條對(duì)特種氣體系統(tǒng)的輔助抽真空裝置的設(shè)置做了規(guī)定 1，由于電子工廠常有氮?dú)夤?yīng)，且氮?dú)鈨r(jià)格低廉,性能穩(wěn)定,所以特種氣體系統(tǒng)的真空發(fā)生器一般采用氮?dú)庖涑檎婵铡? 抽真空用氮?dú)庖嗽谶M(jìn)入真空發(fā)生器前加裝止回閥。并保持微量氣體流通。以避免真空發(fā)生器出口發(fā)生堵塞 排放氣體倒灌的風(fēng)險(xiǎn)。4,3 4，本條對(duì)特種氣體排氣與廢氣處理的設(shè)置做了規(guī)定,2，自燃性.易燃性,毒性.腐蝕性特種氣體系統(tǒng)在抽真空或吹掃過(guò)程中排出的超過(guò)規(guī)定濃度的特種氣體和特種氣體混合氣對(duì)環(huán)境與人體將會(huì)造成著火 中毒和損害設(shè)備。管路等安全危害，因此 這些特種氣體及混合氣應(yīng)通過(guò)排氣管道進(jìn)入尾氣處理裝置進(jìn)行處理、達(dá)到規(guī)定濃度后才能排入廠務(wù)排氣系統(tǒng).4,3 5 尾氣處理裝置的設(shè)置是特種氣體系統(tǒng)的重要部分之一.既涉及特種氣體系統(tǒng)的儲(chǔ)存.輸送系統(tǒng)的安全運(yùn)行、也涉及生產(chǎn)廠房。周圍環(huán)境安全以及人員健康。1、尾氣處理裝置的類型有多種，具體某種特種氣體尾氣處理裝置的選型，應(yīng)根據(jù)其物理化學(xué)性質(zhì)。排氣中特種氣體的濃度等特性進(jìn)行選擇、幾種尾氣處理方法對(duì)特種氣體的適用性大體是，干法吸附較適用于AsH3等。濕法洗滌較適用于NH3、NOx.HCl等、熱分解或燃燒式較適用于CF4.SF6。SiH4.PH3等特種氣體、3，為防止不相容性特種氣體發(fā)生反應(yīng)引發(fā)事故。不相容性特種氣體應(yīng)分別采用不同的尾氣處理裝置進(jìn)行處理，從安全和環(huán)境保護(hù)的角度出發(fā)、尾氣處理裝置靠近特種氣體設(shè)備布置是為了縮短管道長(zhǎng)度.便于與特種氣體設(shè)備一并考慮建筑、電氣的設(shè)計(jì)。