"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 集成電路封裝測試廠設(shè)計規(guī)范 GB 51122-2015
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 工藝設(shè)計
- 4 廠址選擇及布局
- 5 建筑與結(jié)構(gòu)
- 6 給排水與消防
- 7 電 氣
- 8 凈化空調(diào)及工藝排風(fēng)
- 9 純水與廢水處理
- 10 氣體與真空
- 10.1 大宗氣體
- 10.2 干燥壓縮空氣
- 10.3 真 空
- 附錄A 集成電路封裝測試廠工藝流程
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 住宅設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50096-2011
- 宿舍建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明] JGJ 36-2016
- 工程勘察通用規(guī)范[附條文說明] GB 55017-2021
- 地鐵設(shè)計防火標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51298-2018
- 冷庫設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50072-2010
- 老年人建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明] JGJ 122-99
- 生活垃圾處理處置工程項目規(guī)范[附條文說明] GB 55012-2021
- 綠色建筑評價標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB/T 50378-2019
- 精神?？漆t(yī)院建筑設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 51058-2014
- 建筑廢棄物再生工廠設(shè)計標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51322-2018
10.氣體與真空10,1，大宗氣體10、1.1.大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜采用在廠區(qū)內(nèi)設(shè)置制氣裝置或外購液態(tài)氣儲罐和瓶裝氣體方式，10，1.2 大宗氣體供應(yīng)系統(tǒng)宜設(shè)置氣體質(zhì)量監(jiān)控系統(tǒng).10.1。3,當(dāng)氣體的純度大于99，9999、露點(diǎn)低于，40,時。大宗氣體應(yīng)設(shè)置終端氣體純化裝置.氣體終端純化裝置應(yīng)設(shè)置在用氣點(diǎn)處 10、1。4 生產(chǎn)廠房內(nèi)的大宗氣體管道等應(yīng)采取下列技術(shù)措施，1 管道及閥門附件內(nèi)壁處理等級應(yīng)滿足輸送氣體的品質(zhì)要求。2，混合氣體管道的終端或最高點(diǎn)應(yīng)設(shè)置放散管.放散管口應(yīng)設(shè)置阻火器，3，混合氣體管道應(yīng)設(shè)置導(dǎo)出靜電的設(shè)施.4.混合氣體引入管道上應(yīng)設(shè)置自動切斷閥,10,1 5.氣體管道和閥門應(yīng)根據(jù)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求選擇。宜符合下列規(guī)定、1,當(dāng)氣體純度大于99.99.露點(diǎn)低于。40,時，宜采用內(nèi)壁處理的不銹鋼管.閥門宜采用波紋管閥或球閥、2。氣體管道閥門。附件的材質(zhì)宜與相連接的管道材質(zhì)一致。10。1、6.氣體管道連接、宜符合下列規(guī)定。1、管道連接宜采用焊接 不銹鋼管宜采用氬弧焊.2，管道與設(shè)備或閥門的連接、宜采用表面密封接頭。密封材料宜采用金屬墊或聚四氟乙烯墊,