6 2,工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)6.2 1。工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)是集成電路封裝測試廠的重要生產(chǎn)支持系統(tǒng)、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)循環(huán)水量大.運行能耗高,因此工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的設(shè)計應(yīng)該充分考慮工藝生產(chǎn)設(shè)備對水溫 水壓和水質(zhì)的需求,經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟比較后合理設(shè)置,6、2,2,工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的實際使用負荷往往隨著生產(chǎn)設(shè)備的實際運行而變化,為了滿足水壓 水量的要求、工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的加壓水泵通常都按變頻恒壓變流量的模式運行.設(shè)置備用泵是考慮工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的運行安全、6.2 3.6、2,4 工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)過濾器和換熱器設(shè)置備用是根據(jù)工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的重要性和運行安全考慮、6.2。6、不同金屬材料的管道和支架間采用絕緣材料的隔墊主要為防止電化學反應(yīng)造成銹蝕、6 2,7,水質(zhì)對工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)非常重要。因此水質(zhì)穩(wěn)定裝置的合理選擇和設(shè)置必須要充分考慮工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng)的形式,系統(tǒng)中各設(shè)備和管道材料的材質(zhì)以及工藝生產(chǎn)設(shè)備過水部分的材質(zhì),結(jié)合防腐.阻垢和滅菌的需要.