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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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8.特種廢氣系統(tǒng)8，1、一般規(guī)定8，1，1。特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定 1。應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染物性質(zhì)和濃度等因素,選擇尾氣處理設(shè)備 POU。的形式.2,特種廢氣宜在使用設(shè)備的附近進行處理。3，尾氣處理設(shè)備宜設(shè)置備用.8，1，2、工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備之間的管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定。1.當(dāng)工藝設(shè)備使用的氣體不相容時,工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備應(yīng)一一對應(yīng),2 工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進入口應(yīng)一一對應(yīng),不宜合并使用、8,1。3。尾氣處理設(shè)備與工藝真空泵之間的連接管應(yīng)減少變徑、彎頭和接頭.8.1,4.工藝真空泵與尾氣處理設(shè)備之間以及尾氣處理設(shè)備之后的管道材料的特性應(yīng)與所接觸的污染物的性質(zhì)相適應(yīng).8。1,5、尾氣處理設(shè)備進出口宜設(shè)置取樣口 8。1,6。安裝在室外的尾氣處理設(shè)備以及管道的材質(zhì)應(yīng)采取防腐.防紫外線措施,8.1、7.特種廢氣的排風(fēng)管道及附件應(yīng)采用不燃材料制作。8.1 8,淋洗式尾氣處理設(shè)備后的管道應(yīng)設(shè)置1.的坡度,坡向處理設(shè)備,