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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準 GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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8 5,中央廢氣處理系統(tǒng)8,5,1。特種氣體經(jīng)尾氣處理設備就地處理后 應接入中央廢氣處理系統(tǒng)進行再處理，8,5.2。中央廢氣處理系統(tǒng)應根據(jù)污染因子特性進行設計,8，5 3.從尾氣處理設備出口至中央廢氣處理設備的管路應保持負壓狀態(tài),8。5。4，當尾氣處理設備產(chǎn)生粉塵時.系統(tǒng)的設置應符合下列規(guī)定 1、廢氣排入大氣前應進行除塵處理,2 除塵器宜靠近尾氣處理設備，3，當尾氣處理設備采用淋洗方式時 不宜采用干式除塵法 4，尾氣處理設備與除塵器之間的管路.應按除塵系統(tǒng)的要求進行設置。8，5,5，當廢氣經(jīng)過尾氣處理設備處理后。其燃燒爆炸性氣體的濃度超過爆炸下限的10 時.系統(tǒng)應按防爆系統(tǒng)設置、