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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設(shè)計
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8、特種廢氣系統(tǒng)8,1 一般規(guī)定8 1 1、本條規(guī)定了特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置要求 1 特種廢氣的尾氣處理設(shè)備包括干法吸附式.熱氧化式 淋洗式.等離子式等，3。尾氣處理設(shè)備的入口,設(shè)備腔體內(nèi).管路以及等離子頭等需要定期清理.短則2個月,3個月，長則3個月 6個月。為了確保穩(wěn)定生產(chǎn),特種尾氣設(shè)備一般考慮備用、8。1。2,本條規(guī)定了管道連接的要求，1 不同工藝設(shè)備及同一工藝設(shè)備的不同腔體使用相容氣體時，一般采用圖4，圖7接法 工藝設(shè)備不同腔體使用不相容氣體時 要采用圖5接法、不要采用圖4.圖7接法，2.工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進入口。要一一對應(yīng)圖4、圖5接法,圖6合并使用的接法，在接頭處易造成堵塞,故一般不采用。8,1,3，為了減少系統(tǒng)的阻力以及避免冷凝液和顆粒物的積聚。要減少管路中的彎頭和變徑 當處理氣體有含有自燃氣體,如硅烷，可燃氣體時 為了避免其余滲入的氧氣混合引起燃燒或爆炸.要減少管路上的接頭，8、1,5。在尾氣處理設(shè)備的出口設(shè)置取樣口以便于檢測。8,1 7.從安全角度考慮、制定了本條規(guī)定.8 1.8.采用淋洗式尾氣處理設(shè)備時.由于其排出的氣體中含有水蒸氣,故制定了本條規(guī)定、