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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準 GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設計
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8.3、全氟化合物，PFC,尾氣處理系統(tǒng)8。3.2、由于中央廢氣處理設備對全氟化合物的效率幾乎為、0.所以規(guī)定了特種尾氣設備的效率 8.3，3 熱裂解包括等離子式和熱氧化式，8 3.4。由于全氟化物經POU處理 氣體分解后會產生強腐蝕性的高濃度的氟酸氣體.故規(guī)定其處理設備的塔體及管道采用耐腐蝕的材料、