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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設計標準 GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風
- 12 電氣設計
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標準用詞說明
- 引用標準名錄
- 條文說明
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8，2,烷類尾氣處理系統(tǒng)8 2 1 尾氣處理設備的處理效率和出口濃度應符合下列規(guī)定 1,設備的處理效率不應低于99、2、處理后的污染因子濃度宜在PC.TWA值以下.3.處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應在爆炸下限值的25。以下.8，2。2 采用電熱式和等離子式的尾氣處理設備,其內(nèi)部應采用耐腐蝕。耐高溫的材料、8。2。3，尾氣處理系統(tǒng)宜采用下列方式 1，硅烷,SiH4，鍺烷，GeH4 宜采用熱氧化和洗滌兩級處理方式。2 磷烷。PH3、宜采用熱氧化和洗滌兩級處理方式或干式吸附方式,3.乙硼烷，B2H6,宜采用洗滌方式。4 砷烷。AsH3.宜采用干式吸附方式，8。2，4 從真空泵至尾氣處理設備入口之間的管道,應符合下列規(guī)定 1.管道的材質宜采用不銹鋼304或316.2。當尾氣遇低溫易產(chǎn)生沉淀物質時,管道應采取加熱措施.8 2,5.尾氣處理設備出口之后的管道宜采用耐腐蝕,導靜電的材質、8 2.6 當尾氣處理設備采用直接燃燒方式時，應符合消防要求.