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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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8、4，其他特種尾氣處理系統(tǒng)8 4，1、尾氣處理設(shè)備的處理效率和出口濃度應(yīng)符合下列規(guī)定.1。設(shè)備的處理效率不應(yīng)低于99.2、處理后的污染因子濃度宜在PC.TWA值以下.3,處理后的燃燒爆炸性氣體濃度應(yīng)在爆炸下限值的25.以下 8、4,2 外延設(shè)備的尾氣處理設(shè)備的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1，外延尾氣處理系統(tǒng)應(yīng)單獨(dú)設(shè)置,2 應(yīng)按防爆系統(tǒng)設(shè)置.3、不應(yīng)就近設(shè)置在外延爐旁邊和下技術(shù)夾層內(nèi)。4,尾氣處理設(shè)備應(yīng)設(shè)置防護(hù)罩，8.4，3、三氟化硼.BF3.和三氯化硼，BCl3、宜采用等離子和淋洗兩級(jí)處理方式.三氟化氯、ClF3,宜采用熱氧化和淋洗兩級(jí)處理方式,三氯硅烷。SiHCl3，二氯硅烷 SiH2Cl2,宜采用等離子式和淋洗兩級(jí)處理方式，8 4,4、從真空泵至尾氣處理設(shè)備入口之間的管道 應(yīng)符合下列規(guī)定、1。管道的材質(zhì)宜采用不銹鋼304或316 2,當(dāng)尾氣中含有遇低溫易析出粉塵的物質(zhì)時(shí)、管道應(yīng)采取加熱措施，8。4。5 尾氣處理設(shè)備出口之后的管道應(yīng)采用防腐,導(dǎo)靜電的材質(zhì)、