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7，3 處理系統(tǒng)7,3.1。一般半導(dǎo)體及光電產(chǎn)業(yè)的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣排放濃度為100mg,m3.1000mg,m3、甲烷計(jì)。屬低度至中度濃度范圍、但排風(fēng)量通常很大。濃度在50mg,m3 甲烷計(jì)、以下?lián)]發(fā)性有機(jī)物廢氣.已基本能滿足目前大氣排放標(biāo)準(zhǔn)的要求.從技術(shù)經(jīng)濟(jì)的角度.除非是嗅閾值極低的物質(zhì),否則一般不采用熱氧化的方式 因此建議采用活性炭吸附進(jìn)行一定程度的減排、濃度不高于1000mg.m3,因濃度較低,采用直接氧化或蓄熱氧化需大量添加輔助燃料.運(yùn)行成本高,因此一般采用轉(zhuǎn)輪濃縮5倍 15倍.一方面提高氣體濃度.另一方面減少需氧化處理的風(fēng)量 熱氧化工藝包括熱氧化及熱回收系統(tǒng)、蓄熱氧化系統(tǒng)。濃度大于1000mg，m3的氣體。采用蓄熱氧化的方式進(jìn)行直接處理。一方面因?yàn)樾顭嵫趸臒峄厥招室堰_(dá)95 另一方面可簡(jiǎn)化流程、較大程度的節(jié)約系統(tǒng)的投資費(fèi)用，熱氧化工藝包括蓄熱氧化系統(tǒng)，催化氧化系統(tǒng)。蓄熱催化氧化系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)蓄熱氧化是蓄熱氧化裝置中熱回收效率和焚燒效率均較好的裝置，蓄熱催化氧化工藝則通過(guò)催化劑在較低的溫度下進(jìn)行熱氧化作用.同時(shí)也具有很高的蓄熱換熱效率、氮氧化物的生成量相對(duì)較少.但需要使用催化劑。7，3，2，對(duì)于低濃度揮發(fā)性有機(jī)物廢氣的一次性活性炭吸附拋棄工藝,從經(jīng)濟(jì)性角度出發(fā)一般采用投資最少的固定床工藝,且通過(guò)接觸時(shí)間規(guī)定確保一定的吸附床層厚度.通過(guò)規(guī)定炭的吸附率質(zhì)量分?jǐn)?shù)可確保炭具有一定的吸附能力，顆粒直徑較大的活性炭往往傳質(zhì)阻力大且傳質(zhì)區(qū)長(zhǎng)度相對(duì)較大.不利于活性炭的充分利用、因此建議采用3mm以下的粒徑、從工藝控制的角度 當(dāng)活性炭被顆粒物堵塞或含水量過(guò)大時(shí),往往床層壓力會(huì)變大,因此可以通過(guò)安裝壓差報(bào)警裝置作為監(jiān)控活性炭床吸附性能的手段之一,由于吸附為放熱過(guò)程。同時(shí)活性炭含有的一些金屬及金屬氧化物雜質(zhì)具有一定的催化作用,活性炭床在吸附高濃度氣體，吸附飽和或外界高溫的情況下可能會(huì)出現(xiàn)自燃危險(xiǎn)、因此活性炭吸附塔附近需配備消防系統(tǒng)或放置滅火器，為避免頻繁更換活性炭吸附劑.其填充量更換周期一般不低于3個(gè)月、7 3.4、轉(zhuǎn)輪濃縮、熱氧化,工藝流程如圖1所示。轉(zhuǎn)輪濃縮 熱氧化。系統(tǒng)由轉(zhuǎn)輪吸附濃縮系統(tǒng)。熱氧化系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,工藝排氣在進(jìn)入濃縮轉(zhuǎn)輪前會(huì)分流一定比例的廢氣通入轉(zhuǎn)輪冷卻區(qū)作冷卻之用。其余的廢氣進(jìn)入吸附處理區(qū)經(jīng)吸附處理達(dá)標(biāo)后可直接經(jīng)排氣筒排至大氣，采用工藝排氣作為轉(zhuǎn)輪冷卻用氣主要是可以減少吸附處理氣體的流量。冷卻轉(zhuǎn)輪并使轉(zhuǎn)輪恢復(fù)吸附功能的廢氣將進(jìn)入換熱器.通過(guò)與熱氧化爐膛內(nèi)抽出來(lái)一定流量煙氣換熱升溫至180，220。后返回進(jìn)入轉(zhuǎn)輪的脫附區(qū)，將吸附濃縮在轉(zhuǎn)輪上的VOCs脫附出來(lái) 形成高倍濃縮的廢氣氣流,濃縮后的廢氣再通過(guò)換熱器加熱后進(jìn)入直燃式熱氧化器 被高溫?zé)崃呀鉃槎趸寂c水的達(dá)標(biāo)廢氣、與前述經(jīng)吸附處理區(qū)的達(dá)標(biāo)廢氣合并后，由排氣筒排放至大氣，由于轉(zhuǎn)輪本身的特性,其再生溫度需180、以上才能較好的完成脫附工作，但脫附溫度到300。以上時(shí)可能會(huì)造成部分揮發(fā)性有機(jī)物裂解焦化 污染堵塞吸附劑表面.引起系統(tǒng)性能下降,目前揮發(fā)性有機(jī)物排放限值比較嚴(yán)格的行業(yè)或地區(qū)要求在50mg、m3以下，濃縮后氣體在熱氧化系統(tǒng)處理入口可達(dá)5000mg,m3以上，因此要求凈化效率不小于99.在保證熱氧化條件合理的情況下 99、的熱氧化效率是完全可以做到的，由于氮氧化物也是目前我國(guó)納入總量控制的污染物 因此要求在控制揮發(fā)性有機(jī)物污染的熱氧化過(guò)程中要防止出現(xiàn)氮氧化物的二次污染。熱回收效率是指實(shí)際預(yù)熱廢氣所利用熱量與最大需求熱量的百分比值，計(jì)算公式如下，式中.η.熱回收效率、mo.氧化裝置排出氣體的質(zhì)量流量、kg.h mi、待處理廢氣的質(zhì)量流量 kg h，Tc、氧化裝置燃燒室溫度,To.氧化排氣在熱回收系統(tǒng)出口處的氣體溫度。Ti.揮發(fā)性有機(jī)物廢氣在熱回收系統(tǒng)進(jìn)口處的氣體溫度,7、3,5 轉(zhuǎn)輪濃縮.蓄熱氧化,工藝流程如圖2所示，轉(zhuǎn)輪濃縮 蓄熱氧化，系統(tǒng)由轉(zhuǎn)輪吸附濃縮系統(tǒng) 蓄熱熱氧化系統(tǒng)和自動(dòng)控制系統(tǒng)等組成,兩塔式蓄熱氧化設(shè)備在氣流方向切換時(shí)存在泄漏的可能性.因此對(duì)切換閥門的速度和密封性均要求較高.從確保熱氧化效率的角度,推薦采用三塔式或旋轉(zhuǎn)式的工藝布置方式 從技術(shù)經(jīng)濟(jì)的角度 規(guī)定了蓄熱氧化系統(tǒng)的蓄熱效率要不小于90，蓄熱材料因湍流換熱的需要，往往阻力較大、造成運(yùn)行電耗較高、綜合換熱和氣流阻力的因素，要求蓄熱材料壓力損失要不大于3500Pa,廢氣進(jìn)出熱氧化爐由旋轉(zhuǎn)閥切換進(jìn)行.旋轉(zhuǎn)閥的漏氣率不應(yīng)大于1.與其他類型的蓄熱氧化設(shè)備一樣,旋裝式蓄熱氧化設(shè)備要設(shè)置過(guò)熱狀態(tài)時(shí)熱氣體旁路排放控制系統(tǒng) 以有效控制爐膛過(guò)溫問題,當(dāng)爐膛溫度超過(guò)溫度設(shè)定點(diǎn)時(shí) 開啟熱氣旁路控制風(fēng)門 讓爐體熱量不經(jīng)過(guò)蓄熱床，直接通過(guò)排氣筒排放至大氣，從而有效降低和控制爐膛溫度,該設(shè)備能有效擴(kuò)大氧化設(shè)備的進(jìn)氣濃度的允許操作范圍、同時(shí)在系統(tǒng)發(fā)生故障時(shí),亦能有效降低爐溫。7,3。6.催化氧化一般在相對(duì)較低的溫度條件下完成熱氧化過(guò)程、催化劑起著重要的作用，規(guī)定所選取催化劑的空間速度一般不小于15000h。1是要求選用一些高性能的催化劑、避免含硫。鉛 砷等易造成催化劑失活的物質(zhì)進(jìn)入系統(tǒng)造成催化性能的下降.為防止發(fā)生不完全氧化，在工藝中配備催化床預(yù)熱系統(tǒng)。在確保催化劑加熱到正常工作溫度區(qū)間后再通入待處理的揮發(fā)性有機(jī)物廢氣、7 3，7。蓄熱催化氧化系統(tǒng)、RCO系統(tǒng)、是將蓄熱式熱交換器與催化氧化爐的優(yōu)勢(shì)結(jié)合起來(lái)的一種工藝，與RTO設(shè)備相同。先通過(guò)陶瓷蓄熱材料將待處理氣體預(yù)熱,然后將VOCs在300。左右的催化反應(yīng)中轉(zhuǎn)化成無(wú)害或少害的物質(zhì)，兩塔式蓄熱催化氧化設(shè)備在氣流方向切換時(shí)存在泄漏的可能性 因此對(duì)切換閥門的速度和密封性均要求較高、從確保熱氧化效率的角度 推薦采用三塔式或旋轉(zhuǎn)式的工藝布置方式，7 3 8.體積濃度 1 沸點(diǎn)，150 的剝離液揮發(fā)性有機(jī)物廢氣一般采用冷凝凈化工藝進(jìn)行預(yù)處理、常見的去光阻剝離液.去光阻工藝所涉及的揮發(fā)性有機(jī)物性能情況分別見表7和表8 冷凝凈化過(guò)程的出口濃度主要取決于出口氣體的冷凝溫度.因此建議采用5。8.的冷卻水.通過(guò)合理?yè)Q熱面積的冷凝器確保冷凝系統(tǒng)的最終排氣溫度不大于12 控制排氣中的氣態(tài)VOCs濃度、冷凝器后設(shè)置的除霧器主要是用來(lái)將氣體中的冷凝液滴去除,冷凝液應(yīng)排放至指定的安全容器內(nèi).