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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn) GB 51401-2019
- 1 總則
- 2 術(shù)語
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機(jī)物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 8．1 一般規(guī)定
- 8．2 烷類尾氣處理系統(tǒng)
- 8．3 全氟化合物（PFC）尾氣處理系統(tǒng)
- 8．4 其他特種尾氣處理系統(tǒng)
- 8．5 中央廢氣處理系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計(jì)
- 附錄A 電子工業(yè)常用高毒物品的立即危害生命和健康濃度(IDLH)
- 本標(biāo)準(zhǔn)用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
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8.特種廢氣系統(tǒng)8，1，一般規(guī)定8.1.1，特種廢氣處理系統(tǒng)的設(shè)置應(yīng)符合下列規(guī)定.1。應(yīng)根據(jù)工藝設(shè)備生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的污染物性質(zhì)和濃度等因素 選擇尾氣處理設(shè)備.POU.的形式、2.特種廢氣宜在使用設(shè)備的附近進(jìn)行處理 3.尾氣處理設(shè)備宜設(shè)置備用。8。1.2,工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備之間的管道連接應(yīng)符合下列規(guī)定。1，當(dāng)工藝設(shè)備使用的氣體不相容時(shí)，工藝設(shè)備與尾氣處理設(shè)備應(yīng)一一對應(yīng),2.工藝設(shè)備的排出口與尾氣處理設(shè)備的進(jìn)入口應(yīng)一一對應(yīng)，不宜合并使用,8。1.3，尾氣處理設(shè)備與工藝真空泵之間的連接管應(yīng)減少變徑、彎頭和接頭，8，1 4，工藝真空泵與尾氣處理設(shè)備之間以及尾氣處理設(shè)備之后的管道材料的特性應(yīng)與所接觸的污染物的性質(zhì)相適應(yīng),8、1、5,尾氣處理設(shè)備進(jìn)出口宜設(shè)置取樣口.8，1 6,安裝在室外的尾氣處理設(shè)備以及管道的材質(zhì)應(yīng)采取防腐、防紫外線措施.8,1,7.特種廢氣的排風(fēng)管道及附件應(yīng)采用不燃材料制作、8 1.8。淋洗式尾氣處理設(shè)備后的管道應(yīng)設(shè)置1,的坡度 坡向處理設(shè)備,