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3 基本規(guī)定3 0.1,本條規(guī)定了對有害物的控制及工藝設備的要求.對于產(chǎn)生有害物質的工藝生產(chǎn)設備采用自動化,密閉 隔離和在負壓下操作的措施、可以避免直接操作.并改善工作人員的工作條件，對生產(chǎn)過程中不可避免產(chǎn)生的有害物質在排放前進行凈化處理，以符合國家現(xiàn)行標準、大氣污染物綜合排放標準 GB、16297等有關大氣污染物排放標準的要求.大氣排放除執(zhí)行污染物最嚴格的排放濃度標準外、還需要符合污染物總量控制的要求。3,0，2 電子工程中，依廢氣污染物種類通常將工藝廢氣劃分為酸性廢氣，堿性廢氣、揮發(fā)性有機物，VOCs.廢氣.特種廢氣，含塵廢氣。焊錫煙氣 玻璃窯爐廢氣等.通常情況下同類廢氣可以合并.不相容的廢氣分開設置排風系統(tǒng),3 0 3,本條規(guī)定了排風系統(tǒng)的劃分原則。是強制性條文 必須嚴格執(zhí)行,1、防止不同種類和性質的有害物質混合后引起燃燒或爆炸事故。2。避免形成新的毒性、腐蝕性的混合物或化合物?；蛏啥拘?、腐蝕性更大的混合物或化合物.對人體造成危害或腐蝕設備及管道,如散發(fā)氰化物的電鍍槽與酸洗槽散發(fā)的氣體混合時生成氫氰酸,毒害更大,3 為防止或減緩蒸汽在風管中凝結聚積粉塵,從而增加風管阻力甚至堵塞風管，影響通風系統(tǒng)的正常運行 4,避免極毒和劇毒物質通過排風管道及風口竄入其他房間。如將放散砷烷 磷烷，乙硼烷,鉛蒸氣,汞蒸氣和氰化物等極毒和劇毒氣體的排風與其他房間的排風設為同一系統(tǒng)時，當系統(tǒng)停止運行 極毒和劇毒氣體可能通過風管竄入其他房間.極毒物質是指車間空氣中有害物質的最高允許濃度小于0、1mg、m3的物質,劇毒物質是指車間空氣中有害物質的最高允許濃度小于0、1mg，m3、1mg m3的物質、5。避免燃燒爆炸性氣體通過排風管道及風口竄入其他房間 3,0，4。規(guī)定此條主要是考慮節(jié)能、當個別排風點的需求壓力較高.且又出現(xiàn)在系統(tǒng)后三分之一管路時。勢必使整個排風系統(tǒng)的需求壓力提高 這是不合理的、最好分別設置系統(tǒng).3.0，6。本條涉及排風系統(tǒng)安全 穩(wěn)定運行以及大氣污染問題,1、一些電子工廠潔凈廠房內使用各類品種 一定數(shù)量的燃燒爆炸性物質、通常在使用這些物質的生產(chǎn)設備均設有局部排風系統(tǒng),為此要采取技術措施防止這些物質的排風系統(tǒng)對所在廠房的安全造成危害.所以本款規(guī)定為強制性條文,必須嚴格執(zhí)行、2、電子工廠如芯片制造生產(chǎn)設備的局部排風系統(tǒng)中有毒有害物質主要有、酸堿類、氫氟酸，HF,鹽酸。HCl,硫。H2SO4，硝酸,HNO3。氨.NH3,等。有機類.異丙醇 IPA，三氯甲烷。CHCl3。六甲基二硅胺。HMDS。丙酮等 特種氣體。砷烷,AsH3，硅烷 SiH4 磷烷 PH3.硼烷 B2H6、三氟化氮,NF3。六氟化鎢。WF6，三氯氫硅.SiHCl3.四氟化碳。CF4.六氟化硫 SF6、一氧化二氮.N2O。等，這些物質大部分對人類生存環(huán)境具有巨大的危害性,因此要求需根據(jù)國家和地區(qū)污染物排放標準進行凈化處理、3、0 7,本條規(guī)定了燃燒爆炸性危險物質的排風系統(tǒng)風量確定原則 是為了保證安全，3 0，8、本條規(guī)定了采用防爆型廢氣處理系統(tǒng)設備的條件，為強制性條文 必須嚴格執(zhí)行，直接布置在有爆炸危險場所中的廢氣處理系統(tǒng)設備.用于排除,輸送或處理甲,乙類物質的廢氣處理系統(tǒng)設備以及排除，輸送或處理含有燃燒或爆炸危險的粉塵,纖維物質、其含塵濃度高于或等于其爆炸下限的25，時?；蚝?。乙類物質的濃度高于或等于其爆炸下限值的10，時 由于設備內或外的空氣中均含有燃燒或爆炸危險性物質 遇火花即可能引起燃燒或爆炸事故,為此規(guī)定其廢氣處理系統(tǒng)的設備要采用防爆型，3。0.9。本條規(guī)定了廢氣處理系統(tǒng)的設備，風管和配件的防靜電接地要求、當靜電積聚到一定程度時、就會產(chǎn)生靜電放電 即產(chǎn)生靜電火花 使可燃或爆炸危險物質有引起燃燒或爆炸的可能.因此做了如條文中的有關規(guī)定,法蘭跨接系指風管法蘭連接時 法蘭間密封墊或法蘭螺栓墊圈常常采用橡膠材料、故兩法蘭之間需用金屬線跨接.3.0 10、本條規(guī)定了排風風管布置原則，為強制性條文 必須嚴格執(zhí)行.有爆炸危險的廠房,車間發(fā)生事故后 火災容易通過排風管道蔓延擴大到建筑的其他部位,因此其排風管道嚴禁穿過防火墻和有爆炸危險的車間隔墻.3.0.11 規(guī)定本條的目的是為了使排風系統(tǒng)中含有的有毒有害物質以及局部排風系統(tǒng)中排出的有較高濃度的爆炸危險性物質得以在大氣中擴散稀釋、以免降落到建筑物的空氣動力陰影區(qū)和正壓區(qū)內,污染周圍空氣或導致向車間內倒流 建筑物的空氣動力陰影區(qū)，指室外大氣氣流撞擊在建筑物的迎風面上形成的彎曲現(xiàn)象及由此而導致屋頂和背風面等處由于靜壓減小而形成的負壓區(qū) 正壓區(qū),指建筑物迎風面上由于氣流的撞擊作用而使靜壓高于大氣壓力的區(qū)域,一般情況下，只有當它和風向的夾角大于30,時。才會發(fā)生靜壓增大,即形成正壓區(qū)。3、0。12.本條規(guī)定了通風系統(tǒng)排除凝結水的措施.排除潮濕氣體或含水蒸氣的排風系統(tǒng)，風管內表面有時會因其溫度低于露點溫度而產(chǎn)生凝結水 為了防止系統(tǒng)內凝結液腐蝕或堵塞設備及風管，影響排風系統(tǒng)的正常運行，條文中規(guī)定水平敷設的風管要有一定的坡度并在風管的低點設置觀察檢修口,在風管的最低點和通風機的底部設置排除凝結液裝置 對于酸，堿，揮發(fā)性有機物和特種廢氣系統(tǒng)產(chǎn)生的冷凝液需排至相應的廢水管網(wǎng)中進行再處理 為了防止由于排風管路水密性不好,而發(fā)生排風管路中的冷凝液滲漏事故。所以規(guī)定排風管路系統(tǒng)要有防滲漏措施 3.0。13,本條規(guī)定了填料洗滌式廢氣處理設備的設置原則、1 規(guī)定斷面風速是為了保證廢氣與洗滌液有充分的接觸時間、從而保證處理效率 2、填料洗滌式廢氣處理設備的填料厚度對處理效率起到至關重要的作用,填料厚度與斷面風速。噴淋循環(huán)液流量。待處理污染因子 填料形式等有關、需根據(jù)廠家提供的公式計算或曲線查取,3，噴淋液循環(huán)量是保證處理效率又一重要因素.規(guī)定第1項是為了保證廢氣與吸收液進行充分的質交換、規(guī)定第2項是為了確保填料充分潤濕。這里的填料面積指正對噴淋方向填料橫斷面面積,對于目前工程中常用的逆向流，交叉流填料洗滌式廢氣處理設備通常指填料水平斷面面積，4。規(guī)定此款是為了保證被處理廢氣與吸收液有足夠的接觸時間.從而保證處理效率.6。7。這兩款規(guī)定是為了防止廢氣處理設備發(fā)生凍結 8、有些工程中填料洗滌式處理設備補充水采用純水制備系統(tǒng)的反滲透濃水、結果純水制備系統(tǒng)的反滲透濃水中的鈣離子大量結積在填料和除霧器上.造成堵塞.另外酸廢氣洗滌塔是以循環(huán)液的導電率來確定是否排水、所以以含鹽量較高的純水制備系統(tǒng)的反滲透濃水作為補水也是不適宜的、如果酸廢氣洗滌塔內補充再生水,再生水中殘留的氨將與酸廢氣中氟和氯離子生成不易捕集的氟化銨和氯化銨 同樣理由 再生水也不適宜作為堿廢氣洗滌塔的補水。所以填料洗滌式處理設備的補充水一般為自來水。3，0 14。本條規(guī)定了壓入式、吸入式.吹吸式廢氣處理系統(tǒng)的采用原則。當排風中含有酸性.堿性，特種等有毒有害污染因子時.如采用壓入式廢氣處理系統(tǒng) 一方面排風機處于高濃度污染因子區(qū)，易被腐蝕、另一方面風機出口與廢氣處理設備間處于高正壓.如風管系統(tǒng)密封不好、或軟接頭破損 部分未經(jīng)處理的廢氣將會直接排入大氣 污染環(huán)境.對于排風中含有揮發(fā)性有機物的廢氣處理系統(tǒng)。綜合考慮處理效率.系統(tǒng)泄漏等因素，采用吹吸式廢氣處理系統(tǒng)，使轉輪濃縮機與上游氣流風機出口間處于微負壓或微正壓是較合理的選擇.3 0。15,規(guī)定此條主要是為了符合節(jié)能要求.處理設備的壓力損失指單級填料或單級吸附材料的壓力損失、且為運行壓力損失，本規(guī)定不適合蓄熱氧化設備,3.0。16.本條是針對以往廢氣處理系統(tǒng)因設置旁路會經(jīng)常出現(xiàn)排放超標和短路運行的現(xiàn)象提出的要求，3，0、17。本條為強制性條文。必須嚴格執(zhí)行.1.為了避免含有燃燒爆炸性，毒性物質的排氣管路向沿程或路由區(qū)域泄漏 形成安全事故的發(fā)生、本款規(guī)定此類排氣管路內壓力要低于路由區(qū)域內的壓力.即保持一定的負壓值 在美國消防協(xié)會的NFPA318。潔凈室消防標準,中的3 2、3條規(guī)定 含有危險化學品的廢氣應經(jīng)由保持相對于建筑內正常使用區(qū)域負壓的風管系統(tǒng)傳輸 但風機.洗滌塔和處理裝置的下游除外.2。3、4、這三款規(guī)定是為了提高排風系統(tǒng)和廢氣處理系統(tǒng)的運行可靠性 防止因設備故障或停電等原因使燃燒爆炸性 有毒物質未及時排走或未得到有效處理而發(fā)生事故或污染環(huán)境 3、0,18，本條是關于廢氣處理系統(tǒng)排氣筒的設計要求,排氣筒的高度不僅要符合國家及地方環(huán)境保護的相關規(guī)定。而且還要注意符合本項目環(huán)境影響報告書的相關要求,實際工程情況表明、往往后者規(guī)定的排氣筒高度遠大于前者的要求、第2，4款規(guī)定主要考慮有毒有害物質雖然經(jīng)廢氣處理系統(tǒng)進行了處理,并達到了排放標準 但不等于無害.為了避免該廢氣未經(jīng)充分擴散、稀釋而降落地面被人員吸入 所以規(guī)定了最低的排氣筒高度及較高的排放速度、同樣的理由規(guī)定了第7款排氣簡要遠離新風吸入口。廢氣處理系統(tǒng)總體設計時需考慮此因素.第5款規(guī)定是為了方便環(huán)保監(jiān)測人員測試廢氣處理效果及廢氣排放情況、3 0,19 本條是廢氣處理系統(tǒng)風管的規(guī)定,風管的防腐性能應與所接觸的腐蝕性介質相適應.實際工程中 如廢氣中含有HF.當采用普通玻璃鋼風管時。其骨架材料玻璃絲布就不能抵御HF的腐蝕,系統(tǒng)運行不久就得更換.另外，即使同為玻璃鋼.但不同的樹脂對各種酸性介質的抗腐蝕性能也是不一樣的、經(jīng)調研發(fā)現(xiàn) 近幾年集成電路前工序工廠和平板顯示類工廠相繼發(fā)生的幾次火災，起因基本與工藝生產(chǎn)有關。但多數(shù)情況火勢是沿著非不燃材料的排風管道擴散、蔓延，引起更大范圍內發(fā)生火災 造成巨額財產(chǎn)損失、且有幾起火災甚至造成部分電子產(chǎn)品供應中斷.引發(fā)市場價格發(fā)生波動.所以規(guī)定集成電路前工序工廠和平板顯示類工廠的排風管要采用不燃材料制作,3，0.21、本條規(guī)定了風管及配件的絕熱措施 1。戶外安裝的廢氣處理系統(tǒng)風管及配件。當輸送的廢氣中含有遇冷形成凝結物堵塞或腐蝕風管的物質、如苯蒸汽 硼蒸汽等,將影響廢氣處理系統(tǒng)的正常工作。2,當除塵風管內表面結露時 粉塵將會沉積 并堵塞管道 3、高溫風管如不采取絕熱措施，有燙傷人體的危險.3.0 22,潔凈室。區(qū)，內的排風管、如直接采用產(chǎn)塵的絕熱材料，一方面在施工過程中保溫材料的纖維會在空氣中飛揚,難以清除。另一方面有些排風系統(tǒng)的管道在運行過程中，難免需要增設接口或拆開檢修等工作,從而對潔凈空氣造成污染。影響室內潔凈度等級。且縮短送風末端過濾器的使用壽命 3,0。23 規(guī)定此條主要是考慮節(jié)能，3，0 24,排風機并聯(lián)工作比較復雜。尤其是對具有峰值特性的不穩(wěn)定區(qū)在多臺排風機并聯(lián)工作時易受到擾動而惡化其工作性能,因此設計時要慎重對待，否則不但達不到預期目的.還會無謂地增加能量消耗，為簡化設計和便于運行管理，條文中規(guī)定.在排風機聯(lián)合工作的情況下 要盡量選用相同型號.相同性能的排風機并聯(lián)。當排風機并聯(lián)安裝時,要根據(jù)排風機和系統(tǒng)的風管特性曲線,確定聯(lián)合工況下的風量和風壓，另外,通風機并聯(lián)工作時.設置是否合理也是至關重要的.實際工程中經(jīng)常出現(xiàn)由于并聯(lián)運行的風機臺數(shù)過多或布置不當 實測結果經(jīng)常達不到預期的總風量,3 0。25 規(guī)定本條是為了防止防火閥的誤動作而造成排風系統(tǒng)的失效,從而引發(fā)安全和生產(chǎn)的事故、另外.即使發(fā)生火災時也不要將此類排風系統(tǒng)停止運行、因為一方面排風系統(tǒng)可兼作排煙功能、另一方面一旦停止運行，工藝生產(chǎn)設備將向車間內散發(fā)比煙氣毒性更大的有害物質,為了達到上述要求、設計人員要在前期方案設計時合理規(guī)劃 并與相關專業(yè)密切配合，盡量避免風管穿越防火分區(qū)墻，3.0，26。規(guī)定本條是避免頻繁更換吸附劑 并減少更換吸附劑對生產(chǎn)的影響、所以吸附劑填料量要滿足其更換周期不短于3個月的要求.3,0。28 廢氣處理系統(tǒng)的風機。處理設備等產(chǎn)生的噪聲、影響主要有兩個方面,一方面是影響室內環(huán)境,要盡量用風管。彎頭和三通等部件以及房間的自然衰減降低或消除、當僅靠自然衰減不能滿足室內噪聲要求時、則需在風機吸入段的排風管路系統(tǒng)中設置消聲裝置或采取其他消聲措施，如采用管式消聲器等.另一方面是室外環(huán)境 當僅靠自然衰減不能滿足廠界和廠區(qū)噪聲要求時，則要在風機壓出段的排風管路系統(tǒng)中設置消聲裝置，必要時需對風機設置隔聲罩、3。0。29，電子工業(yè)生產(chǎn)過程大部分為精密加工、對微振通常有較嚴格的要求 廢氣處理系統(tǒng)中的風機.水泵等在運行時會產(chǎn)生較強烈的振動,如不予以妥善處理.將會對工藝生產(chǎn)產(chǎn)生不利影響,所以需采取隔振措施.另外、對有微振要求的電子工廠.排風管道也是一個不可忽視的振動源，當排風管道布置于有微振要求的區(qū)域內或附近時 也需采取隔振措施 如采用減振支、吊架 風管下設置隔振墊等，3 0.30，排風支干管設置風量調節(jié)閥、是便于各支干管風量的調節(jié)，排風總管設置測定孔是便于風量.風壓.有害物濃度等的測試.對于系統(tǒng)較大 排風支干管較多的廢氣處理系統(tǒng).每個支干管末端設置微壓計.是利于系統(tǒng)風量和壓力平衡以及二次配管的實施,3 0,31 考慮風管的氣流特性 強度。材料消耗等因素,風管截面采用圓形是最為合理的，但考慮到風管安裝所占用的空間 某種情況下采用矩形風管也是一個不錯的選擇、而酸性.堿性和特種廢氣系統(tǒng)的排風管通常有凝結液產(chǎn)生。所以風管截面需為圓形。以利于凝結液的收集,排除,3，0，32、本條是關于選擇廢氣處理設備的要求 1 在工業(yè)通風系統(tǒng)運行過程中、由于風管和設備的漏風會導致排風口處的風量達不到設計值、甚至會導致室內有害物濃度達不到設計和衛(wèi)生標準的要求.為了彌補系統(tǒng)漏風可能產(chǎn)生的不利影響，選擇末端處理設備時 需根據(jù)系統(tǒng)的類別。低壓.中壓或高壓系統(tǒng)、風管內的工作壓力、設備布置情況以及系統(tǒng)特點等因素,附加系統(tǒng)的漏風量，2.考慮流量分配不均勻性等因素，循環(huán)泵的流量要在系統(tǒng)需求流量的基礎上附加10,3,規(guī)定此款是為了提高廢氣處理系統(tǒng)的運行效率.保證車間內工藝設備排風口的排風量、以及廢氣處理系統(tǒng)的運行安全、4.規(guī)定此款是為了確保廢氣處理設備在工作壓力下運行時.不會發(fā)生由于強度問題而變形、另外廢氣處理系統(tǒng)在運行過程中也會發(fā)生壓力波動的情況。為確保系統(tǒng)安全運行 所以考慮了一定的安全系數(shù)、3，0，33,本條是關于選擇排風機應考慮的因素及要求.1。2。選擇風機的基本特性要求。3、工藝設備一般要求排風口處滿足一定的負壓要求,如某些設備酸排風要求為、500Pa 排風機風壓需包括此部分的壓力，4。規(guī)定本款是考慮系統(tǒng)阻力計算的不精確性.系統(tǒng)計算工況與實際工程施工后的工況間的差異以及選用的風機性能與實際安裝的風機性能間的差異等因素 5.當系統(tǒng)的設計風量和計算阻力確定以后、選擇通風機時需考慮的主要問題之一是通風機的效率，在滿足給定的風量和風壓要求的條件下.通風機在最高效率點工作時、其軸功率最小。在具體選用中由于通風機的規(guī)格所限 不可能在任何情況下都能保證通風機在最高效率點工作、因此條文中規(guī)定通風機的設計工況效率不要低于最高效率的90。一般認為在最高效率的90 以上范圍內均屬于通風機的高效率區(qū).根據(jù)我國目前通風機的生產(chǎn)及供應情況.做到這一點是不難的、3。0。34,廢氣處理設備的入口和出口設置采樣口，以便于采樣檢測、3 0,35.設置在線污染因子監(jiān)測裝置可以及時監(jiān)測和記錄系統(tǒng)排放情況,