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11.2。系統(tǒng)設(shè)計(jì)及有害氣體凈化11,2。1，對(duì)于高大廠房 按整個(gè)車間12次,小時(shí)換氣計(jì)算事故通風(fēng)量時(shí) 事故通風(fēng)系統(tǒng)龐大.且事故通風(fēng)量不一定合理。因此規(guī)定廠房以6m高度為限,當(dāng)房間高度小于或等于6m時(shí),按房間實(shí)際容積計(jì)算 當(dāng)房間高度大于6m時(shí)、按6m的空間體積計(jì)算,通過合理布置吸風(fēng)口,可以讓事故通風(fēng)系統(tǒng)發(fā)揮最大的作用.吸風(fēng)口的布置要符合本標(biāo)準(zhǔn)第11。1、3條的規(guī)定.11 2.2 事故排風(fēng)能夠由經(jīng)常使用的排風(fēng)系統(tǒng)和事故排風(fēng)系統(tǒng)共同保證 11。2、3 計(jì)算事故狀態(tài)下的最大泄漏量一般考慮最不利情況.即單位時(shí)間內(nèi)在最大儲(chǔ)存壓力和最高溫度下的泄漏量，11、2.4，按照本標(biāo)準(zhǔn)11、1、8條的規(guī)定，事故排風(fēng)系統(tǒng)排出口有害物質(zhì)濃度要不高于立即危害生命和健康濃度值的50.最經(jīng)濟(jì)的方法就是稀釋排放、但有些有毒物質(zhì)允許的立即危害生命和健康濃度值較低。當(dāng)最大事故泄漏量較大時(shí).如采用稀釋排放,則所需的稀釋風(fēng)量巨大 明顯不經(jīng)濟(jì),此時(shí)采用吸附或洗滌等處理方式是較為合理的方案、11 2、5,極毒和劇毒物質(zhì)對(duì)人體危害很大 目前國(guó)家相關(guān)規(guī)范規(guī)定要采用凈化處理后高空，高速排放。故不采用稀釋方式排放、11。2，6.由于砷烷和磷烷難溶解于水 采用淋洗方式幾乎無(wú)效.所以一般采用吸附方式處理,而微電子廠房常用的乙硼烷能用吸附。也能用洗滌方式處理,11 2.7,本條規(guī)定了采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時(shí)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求.1.采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時(shí) 如果稀釋排風(fēng)系統(tǒng)中帶有多個(gè)有毒有害物質(zhì)儲(chǔ)存和輸配系統(tǒng).此時(shí)系統(tǒng)的稀釋風(fēng)量要滿足系統(tǒng)中任意一個(gè)儲(chǔ)罐和相關(guān)的輸配系統(tǒng)發(fā)生事故時(shí)所需的稀釋風(fēng)量、所以系統(tǒng)的稀釋風(fēng)量要取各種有毒有害物質(zhì)稀釋至立即危害生命和健康濃度，LDHL。所需空氣量中的最大值。2.當(dāng)采用稀釋方式處理事故排風(fēng)時(shí)。從有毒有害物質(zhì)泄漏處進(jìn)入稀釋空氣。是最為安全.有效的方式.使系統(tǒng)中絕大部分空氣均處于立即危害生命和健康濃度值以下.11、2 8,本條規(guī)定了用吸附方式處理事故排風(fēng)設(shè)計(jì)時(shí)的要求,1。設(shè)計(jì)吸附處理系統(tǒng)應(yīng)考慮的因素、2.對(duì)于固定床吸附處理設(shè)備。由于吸附材料在事故排風(fēng)系統(tǒng)運(yùn)行過程中是不能添加的.所以吸附材料的裝填量要大于完全吸附系統(tǒng)中最大儲(chǔ)存量的有毒有害物質(zhì)全部散出時(shí)的吸附材料需求量，3,與上一款的理由相同、吸附設(shè)備的吸附速率不能低于完全吸附系統(tǒng)中最大泄漏量的有毒有害物質(zhì)散出時(shí)所需的吸附速率、以保證所有泄漏的有毒有害物質(zhì)被全部吸附。4，平時(shí)每次更換儲(chǔ)罐的吹掃氣體量并不大。但也會(huì)使吸附設(shè)備中的部分吸附材料失去吸附能力、導(dǎo)致事故排風(fēng)時(shí)的吸附能力不夠，所以更換儲(chǔ)罐的吹掃氣體需另設(shè)置吸附處理系統(tǒng)或接入其他的廢氣處理系統(tǒng) 另外,日常不啟動(dòng)時(shí)因?yàn)樗值奈招枰ㄆ诖_認(rèn)吸附材料的損傷狀態(tài)，當(dāng)有毒有害物發(fā)生泄漏.且事故排風(fēng)系統(tǒng)啟動(dòng)后吸附材料也需要更換 11。2 9、本條規(guī)定了采用淋洗方式處理事故排風(fēng)設(shè)計(jì)時(shí)的要求.1,直立填料洗滌式廢氣處理設(shè)備雖然接管復(fù)雜、運(yùn)行阻力稍高.但理論上具有最佳的氣液質(zhì)交換效果 且事故排風(fēng)系統(tǒng)為偶爾運(yùn)行、運(yùn)行阻力稍高不應(yīng)作為主要的考量因素,所以要優(yōu)先采用，2 如果事故排風(fēng)系統(tǒng)廢氣處理設(shè)備的循環(huán)泵平時(shí)不運(yùn)行。當(dāng)有毒有害物質(zhì)發(fā)生泄漏而啟動(dòng)事故排風(fēng)機(jī)時(shí)。假如事故排風(fēng)點(diǎn)與廢氣處理設(shè)備間的距離較短,很有可能發(fā)生含有毒有害物質(zhì)的事故排風(fēng)到達(dá)處理設(shè)備時(shí).處理設(shè)備中大部分填料還未潤(rùn)濕、起不到處理效果，事故排風(fēng)系統(tǒng)排出口的有毒有害物質(zhì)濃度超標(biāo)。所以循環(huán)泵平時(shí)要保持低速運(yùn)行 以保證填料始終處于濕潤(rùn)狀態(tài)，3，當(dāng)事故排風(fēng)點(diǎn)與廢氣處理設(shè)備間距離足夠長(zhǎng)時(shí),通過計(jì)算確認(rèn).啟動(dòng)循環(huán)泵后填料潤(rùn)濕的時(shí)間,短于啟動(dòng)事故排風(fēng)機(jī)后含有毒有害物質(zhì)的空氣到達(dá)廢氣處理設(shè)備的時(shí)間 洗滌液循環(huán)泵能僅在發(fā)生事故時(shí)先于事故排風(fēng)機(jī)啟動(dòng)。但為了防止啟動(dòng)循環(huán)泵時(shí)發(fā)生瞬時(shí)抽空現(xiàn)象.廢氣處理設(shè)備的儲(chǔ)液箱容量需足夠大、4.有些有毒有害氣體淋洗處理后會(huì)形成酸霧.如HCl氣體淋洗后將形成HCl霧。所以廢氣處理設(shè)備后需裝設(shè)除霧器,以防止酸霧排入大氣 影響處理效率、5,為保證廢氣處理設(shè)備能連續(xù).穩(wěn)定。高效的工作.需設(shè)置自動(dòng)補(bǔ)液和排液系統(tǒng).11 2.10，電子工業(yè)生產(chǎn)過程中使用的砷烷、磷烷，乙硼烷。三氯化硼等極毒和劇毒物質(zhì)一旦發(fā)生泄漏事故,對(duì)人員生命健康有很大的危險(xiǎn),所以其儲(chǔ)存和輸配場(chǎng)所需設(shè)置可靠地排風(fēng)系統(tǒng).