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8.特種廢氣系統(tǒng)8,1 一般規(guī)定8。1.1、本條規(guī)定了特種廢氣處理系統(tǒng)的設置要求、1.特種廢氣的尾氣處理設備包括干法吸附式.熱氧化式、淋洗式、等離子式等。3 尾氣處理設備的入口.設備腔體內,管路以及等離子頭等需要定期清理、短則2個月、3個月,長則3個月 6個月，為了確保穩(wěn)定生產，特種尾氣設備一般考慮備用、8,1 2,本條規(guī)定了管道連接的要求。1,不同工藝設備及同一工藝設備的不同腔體使用相容氣體時 一般采用圖4.圖7接法,工藝設備不同腔體使用不相容氣體時、要采用圖5接法.不要采用圖4,圖7接法，2,工藝設備的排出口與尾氣處理設備的進入口，要一一對應圖4。圖5接法，圖6合并使用的接法 在接頭處易造成堵塞 故一般不采用,8 1.3 為了減少系統(tǒng)的阻力以及避免冷凝液和顆粒物的積聚 要減少管路中的彎頭和變徑 當處理氣體有含有自燃氣體、如硅烷、可燃氣體時、為了避免其余滲入的氧氣混合引起燃燒或爆炸.要減少管路上的接頭。8、1，5 在尾氣處理設備的出口設置取樣口以便于檢測、8 1,7,從安全角度考慮,制定了本條規(guī)定，8、1、8 采用淋洗式尾氣處理設備時，由于其排出的氣體中含有水蒸氣 故制定了本條規(guī)定,