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- 電子工業(yè)廢氣處理工程設(shè)計標準 GB 51401-2019
- 條文說明
- 1 總則
- 3 基本規(guī)定
- 4 工藝及工藝設(shè)備
- 4．1 一般規(guī)定
- 4．2 污染物控制
- 4．3 應(yīng)急設(shè)施
- 5 堿性廢氣系統(tǒng)
- 6 酸性廢氣系統(tǒng)
- 7 揮發(fā)性有機物廢氣系統(tǒng)
- 8 特種廢氣系統(tǒng)
- 9 除塵系統(tǒng)
- 10 電子玻璃窯爐廢氣系統(tǒng)
- 11 事故通風(fēng)
- 12 電氣設(shè)計
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4,3,應(yīng)急設(shè)施4,3,1.工藝設(shè)備的安全保護系統(tǒng)通過配備緊急狀態(tài)偵測切斷裝置.控制有毒有害氣體的擴散,固定式安全保護系統(tǒng)指該系統(tǒng)就地設(shè)置在工藝設(shè)備上，不可移動、供其他設(shè)備使用、工藝設(shè)備包括工藝設(shè)備主體和附屬部件、如氣體儲氣柜，分配箱 封閉箱體 密閉反應(yīng)腔室等 4 3.2,有毒有害物質(zhì)的化學(xué)品和特氣分配供應(yīng)系統(tǒng)應(yīng)該有泄漏和排風(fēng)壓力下限報警連鎖和切斷特種氣體、化學(xué)品供應(yīng)的功能、當排風(fēng)風(fēng)壓降低至預(yù)先的設(shè)定值時,發(fā)出警報信號、并且將工藝設(shè)備置于安全待機狀態(tài).同時切斷特種氣體。化學(xué)品的供應(yīng)，4,3、3,化學(xué)品和特殊氣體在意外泄漏情況下 首先要避免化學(xué)品和特殊氣體向環(huán)境擴散。以保證附近操作人員的人身安全.其次要切斷設(shè)備運行.以保證設(shè)備自身的安全性、最后考慮加工產(chǎn)品的產(chǎn)品質(zhì)量。工藝設(shè)備一般配置如下接口.以便接受報警信號、1 預(yù)留接口聯(lián)通至本地氣體泄漏偵測報警裝置 接受外部異常報警信號、2，預(yù)留接口聯(lián)通至本地廢氣處理裝置,接受該裝置的異常報警信號、3、預(yù)留接口聯(lián)通至本機廢氣排出裝置.如干泵，接受該裝置的異常報警信號、4，預(yù)留接口聯(lián)通至本機附屬的其他需排風(fēng)的裝置，如工藝氣體柜 密閉主機臺外罩等、接受該部分的異常報警信號,5，在操作位置附近安裝緊急制動開關(guān)。確保工藝設(shè)備的緊急切斷,6，在偵測到以上外部報警信號時。需啟動本機安全互鎖.切斷本機工藝氣體輸送、發(fā)出代表本機異常聲光報警信號、并向生產(chǎn)控制計算機系統(tǒng)發(fā)送指定的警報代碼.