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1?？?則1。0.1,為規(guī)范多晶硅工廠的工程設計，提高工程設計質量。做到技術先進 經濟合理。安全可靠。環(huán)保節(jié)能,制定本規(guī)范、1.0,2、本規(guī)范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建，擴建和改建多晶硅工廠的工程設計，也適用于硅烷歧化法多晶硅廠中三氯氫硅合成.四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計.1、0，3。多晶硅工廠設計應積極采用節(jié)能。環(huán)保、高效，先進的裝備和工藝,提高資源 能源利用率,實現物料,能源綜合利用和清潔生產.1.0 4.多晶硅工廠設計除應符合本規(guī)范外,尚應符合國家現行有關標準的規(guī)定，