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- 多晶硅工廠設計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設計
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.4 三氯氫硅氫還原
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.6 硅芯制備及多晶硅產品后處理
- 5.7 分析檢測
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設施
- 8 建筑結構
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風與空氣調節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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- 建筑地面設計規(guī)范[附條文說明] GB 50037-2013
- 壓型金屬板工程應用技術規(guī)范[附條文說明] GB 50896-2013
- 飲食建筑設計標準[附條文說明] JGJ 64-2017
- 機械工業(yè)廠房建筑設計規(guī)范[附條文說明] GB 50681-2011
- 加氫站技術規(guī)范[附條文說明] GB 50516-2010（2021年版）
- 建筑工程建筑面積計算規(guī)范[附條文說明] GB/T 50353-2013
- 建筑設計防火規(guī)范[附條文說明] GB 50016-2014（2018年版）
- 服裝工廠設計規(guī)范[附條文說明] GB 50705-2012（2023年版）
5.4。三氯氫硅氫還原5。4，1 光伏制造行業(yè)規(guī)范條件，工信部2013年第47號,規(guī)定,新建和改。擴建項目還原電耗小于60kW h、kg,還原電耗是多晶硅生產的主要能源消耗,本條規(guī)定的目的是節(jié)約資源能源 5,4、2.供料系統(tǒng)是指將三氯氫硅液體汽化后和氫氣混合以氣態(tài)的形式送入還原爐內.若輸送管線過長.容易出現(xiàn)氣體液化現(xiàn)象、影響產品質量和安全 因此還原爐供料系統(tǒng)應靠近或緊靠還原車間。5，4 5，本條中生產太陽能級多晶硅的還原爐室至少采用三級過濾的潔凈新風 主要是防止新風內的粉塵對硅料造成二次污染,5。4 6。如果遇到突發(fā)事故導致冷卻介質，主要是指高溫水 不流動或還原爐局部過熱。冷卻介質汽化超壓將發(fā)生安全事故，因此需在頂部夾套處設置排氣口和安全閥 保護還原爐及其夾套,保證還原爐安全運行。同時安全閥的泄放口要引至安全處,避免泄放傷人.