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- 多晶硅工廠(chǎng)設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51034-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語(yǔ)
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠(chǎng)址選擇及廠(chǎng)區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.4 三氯氫硅氫還原
- 5.5 還原尾氣干法回收
- 5.6 硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理
- 5.7 分析檢測(cè)
- 6 電氣及自動(dòng)化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
- 附錄A 地下管線(xiàn)與建(構(gòu))筑物之間的最小水平凈距
- 附錄B 地下管線(xiàn)之間的最小水平凈距
- 附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度
- 本規(guī)范用詞說(shuō)明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說(shuō)明
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5.4.三氯氫硅氫還原5。4 1.太陽(yáng)能級(jí)多晶硅還原電耗應(yīng)符合國(guó)家有關(guān)光伏制造行業(yè)規(guī)范條件的要求.5。4。2、還原爐供料系統(tǒng)應(yīng)接近或緊靠還原車(chē)間布置、5，4,3,還原爐室應(yīng)根據(jù)爐型的大小設(shè)置吊裝行車(chē),并宜配備專(zhuān)有的拆卸硅棒工具.5,4 4 熱能回收利用裝置應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝系統(tǒng)的特性，回收還原爐內(nèi)硅棒的輻射熱量、5,4。5，生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅的還原爐室應(yīng)采用不低于三級(jí)過(guò)濾的潔凈新風(fēng) 生產(chǎn)半導(dǎo)體級(jí)多晶硅的還原爐室潔凈度應(yīng)大于8級(jí)。5。4，6。主工藝物料系統(tǒng)和還原爐夾套冷卻系統(tǒng)應(yīng)設(shè)安全閥等安全設(shè)施,