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12，2、生產工藝12.2、1。還原爐應選用高效率。低能耗的爐型、12、2。2、多晶硅生產應采用先進的精餾技術。并應將多晶硅生產各工序進行物料平衡和能量平衡計算.應確定能耗低 經濟性好.競爭力強的工藝流程、12.2、3、多晶硅生產應優(yōu)化工藝,采暖、通風,空調參數及換熱網絡，應實現(xiàn)各種能量的梯級利用,12 2,4、多晶硅工廠應利用多晶硅生產過程中的副產物 12.2,5.多晶硅工廠必須同步設計余熱利用系統(tǒng)，還原爐和氫化反應的余熱回收應用于提純精餾塔再沸器的加熱.且余熱利用系統(tǒng)不應影響多晶硅正常生產，不應提高多晶硅能耗或降低產量，12 2.6.多晶硅生產過程應選用節(jié)水,節(jié)能型產品，并應符合現(xiàn)行國家標準，節(jié)水型產品通用技術條件 GB。T。18870的有關規(guī)定。12 2、7 設備和管道應選用保溫性能良好的絕熱材料.保溫設計應符合現(xiàn)行國家標準。工業(yè)設備及管道絕熱工程設計規(guī)范 GB 50264的有關規(guī)定 12,2 8,各裝置以及重要設備宜設置計量和檢測儀表,并宜設置調節(jié)控制裝置、以滿足全廠和各個系統(tǒng)單獨計量考核的要求.12.2，9，多晶硅工廠宜設置循環(huán)水系統(tǒng),高純水系統(tǒng)、脫鹽水系統(tǒng)產生的潔凈廢水的回收和再利用設施、