8,4。潔凈設計及裝修8,4,1。還原,整理廠房潔凈設計及裝修應符合下列規(guī)定,1 半導體級多晶硅還原廠房的還原爐室應按潔凈廠房進行設計??諝鉂崈舳鹊燃壊粦陀?級,平面布置,人員凈化、物流凈化,室內裝修應符合現(xiàn)行國家標準,潔凈廠房設計規(guī)范。GB.50073的有關規(guī)定 當設有通往整理廠房的連廊時,連廊的空氣潔凈度等級和處理方法應與還原爐室的要求一致。宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定 2,還原爐室地面宜采用耐磨的潔凈地面,當采用水磨石地面時,應采取防靜電措施 墻面宜采用外貼潔凈板或防靜電樹脂涂料、3,整理廠房空氣潔凈度等級及潔凈區(qū)劃分應按工藝要求設置,空氣潔凈度不應低于8級、平面布置 人員凈化,物流凈化 室內裝修,應符合現(xiàn)行國家標準.潔凈廠房設計規(guī)范。GB,50073的有關規(guī)定、4.整理廠房的潔凈房間地面宜采用環(huán)氧自流平地面。聚氯乙烯.PVC,膜材料或水磨石地面,地面應采取防靜電措施、8,4,2、其他建,構.筑物的地面及裝修應符合下列規(guī)定、1,廠房地面與室外自然地坪高差宜大于或等于300mm 2,有潔凈要求的房間地面應滿足工藝生產要求。地面應平整 耐磨、易清洗,不易積聚靜電.避免眩光,不開裂.踢腳不應突出墻面,地面墊層宜配筋。潮濕地區(qū)應有防潮措施 3.潔凈房間的門窗 墻面 頂棚裝修應符合現(xiàn)行國家標準.潔凈廠房設計規(guī)范,GB,50073的有關規(guī)定,4 普通區(qū)輔助房間地面應根據(jù)使用性質和要求選用,室內裝修應符合現(xiàn)行國家標準,建筑內部裝修設計防火規(guī)范、GB、50222的有關規(guī)定