"大量文字復(fù)制"等功能僅限VIP會(huì)員使用，您可以選擇以下方式解決：
1、選擇少量文本，重新進(jìn)行復(fù)制操作
2、開通VIP，享受下載海量資源、文字任意復(fù)制等特權(quán)
- 多晶硅工廠設(shè)計(jì)規(guī)范 GB 51034-2014
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計(jì)
- 6 電氣及自動(dòng)化
- 7 輔助設(shè)施
- 7.1 壓縮空氣站
- 7.2 制 氮 站
- 7.3 制 氫 站
- 7.4 導(dǎo) 熱 油
- 7.5 純水制備
- 7.6 制 冷
- 7.7 蒸 汽
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
- 附錄A 地下管線與建(構(gòu))筑物之間的最小水平凈距
- 附錄B 地下管線之間的最小水平凈距
- 附錄C 主要房間空氣潔凈度、溫度、濕度
- 本規(guī)范用詞說明
- 引用標(biāo)準(zhǔn)名錄
- 條文說明
熱門資源
更多>
- 建筑玻璃應(yīng)用技術(shù)規(guī)程[附條文說明] JGJ 113-2015
- 物流建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 51157-2016
- GB 50016-2014（2018年版）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范（局部修訂征求意見稿） 2019年11月
- 城市地下綜合管廊運(yùn)行維護(hù)及安全技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51354-2019
- 地鐵設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] GB 50157-2013
- 商店建筑設(shè)計(jì)規(guī)范[附條文說明] JGJ 48-2014
- 鍋爐房設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 50041-2020
- 農(nóng)村防火規(guī)范[附條文說明] GB 50039-2010
- 建筑工程建筑面積計(jì)算規(guī)范[附條文說明] GB/T 50353-2013
- 建筑防火通用規(guī)范[附條文說明] GB 55037-2022
7、5。純水制備7。5 1、硅芯,石墨件及硅料清洗應(yīng)采用純水、7,5 2，純水站位置應(yīng)滿足工藝總體布局的要求，并應(yīng)就近用水設(shè)備布置。7。5,3.純水水質(zhì)指標(biāo)不應(yīng)低于表7，5，3的規(guī)定、表7、5，3。純水水質(zhì)指標(biāo),注、表中第11項(xiàng) 第34項(xiàng)采用電感耦合等離子體質(zhì)譜。ICP，MS、檢測(cè)、7、5 4 純水儲(chǔ)存和分配應(yīng)符合下列規(guī)定.1。純水儲(chǔ)存罐體和輸送管道材料應(yīng)滿足生產(chǎn)工藝的水質(zhì)要求。宜選擇潔凈聚氯乙烯管.Clean PVC 聚偏二氟乙烯管，PVDF，等管材，管道附件與閥門等應(yīng)采用與管道相同的材質(zhì) 2、純水輸送管道系統(tǒng)應(yīng)采用循環(huán)方式。設(shè)計(jì)和安裝時(shí) 不應(yīng)出現(xiàn)使水滯留和不易清潔的部位.循環(huán)干管的流速宜大于1。5m，s,不循環(huán)的支管長(zhǎng)度不應(yīng)大于管徑的6倍、3.純水儲(chǔ)罐和輸送系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置清洗系統(tǒng)。7。5。5,純水制備,儲(chǔ)存和分配應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).電子工業(yè)純水系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范.GB。50685的有關(guān)規(guī)定、