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2、術(shù),語(yǔ)2。0。1.三氯氫硅氫還原法,trichlorosilane、hydrogen、reduc.tion。process。經(jīng)過(guò)不斷完善的多晶硅生產(chǎn)主流工藝 是將高純?nèi)葰涔枧c高純氫氣按一定比例通入還原爐,發(fā)生還原或熱分解反應(yīng)，在1050.左右的高純硅芯基體表面上沉積生長(zhǎng)多晶硅.同時(shí)具備回收，利用生產(chǎn)過(guò)程中伴隨產(chǎn)生的氫氣.氯化氫.四氯化硅等副產(chǎn)物以及副產(chǎn)熱能，最大限度地實(shí)現(xiàn),物料內(nèi)部循環(huán)。能量綜合利用、的多晶硅生產(chǎn)工藝，2，0。2。多晶硅,polysilicon,單質(zhì)硅的一種形態(tài)。硅原子以晶格形態(tài)排列成許多晶核，晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒。晶粒組合結(jié)晶成多晶硅，根據(jù)用途可分為太陽(yáng)能級(jí)和半導(dǎo)體級(jí).2。0、3.還原尾氣干法回收.reduction off，gas、recovery。by,dry，method 一種相對(duì)于傳統(tǒng)濕法回收尾氣工藝的方法，利用尾氣中各組分物理化學(xué)性質(zhì)的差異采用冷凝 吸收.解析.吸附等方法.將其逐一分開(kāi)回收、提純，再重新返回生產(chǎn)系統(tǒng)循環(huán)利用，2。0 4，四氯化硅氫化，silicon tetrachloride、hydrogenation，一種處理多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的方法 與氫反應(yīng)將其轉(zhuǎn)換成三氯氫硅、2、0，5、三氯氫硅合成,trichlorosilane，synthesis.一種制取三氯氫硅的方法。將硅粉和氯化氫通入有一定溫度的反應(yīng)器內(nèi)通過(guò)化學(xué)反應(yīng)生成三氯氫硅 2 0 6、氯硅烷精餾,chlorosilane、distillation 一種通過(guò)氣液交換。實(shí)現(xiàn)傳質(zhì)。傳熱，使氯硅烷混合物得到高純度分離的方法,2，0、7，液氯汽化，liquid.chlorine,vaporization、一種將液氯加熱蒸發(fā)成氯氣的方法,2、0 8。氯化氫合成、hydrogen、chloride.synthesis.通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將氫氣 氯氣生成氯化氫氣體的方法.2、0、9 鹽酸解析 hydrochloric。acid，stripping、一種將氯化氫從鹽酸中解析出來(lái)的方法、2、0、10。還原爐.reduction reactor。一種生產(chǎn)棒狀多晶硅的專(zhuān)用設(shè)備。2，0.11,二氯二氫硅反歧化。inverse。disproportionating。of、di、chlorosilane。一種回收利用二氯二氫硅的方法，通過(guò)化學(xué)反應(yīng)將二氯二氫硅與四氯化硅轉(zhuǎn)化成三氯氫硅 2，0.12。多晶硅后處理,polysilicon,handling.根據(jù)客戶和產(chǎn)品分析檢測(cè)的要求、多晶硅出爐后進(jìn)一步處理的統(tǒng)稱(chēng)，包括切除頭尾，鉆棒.滾圓.破碎。分揀,稱(chēng)重，腐蝕.清洗、干燥及包裝等、2。0，13.氯硅烷 chlorosilane.硅烷,SiH4。中的氫原子部分或全部被氯原子取代后的物質(zhì)統(tǒng)稱(chēng)。通常包括四氯化硅.SiCl4。三氯氫硅.SiHCl3。二氯二氫硅 SiH2Cl2 一氯三氫硅.SiH3Cl，等，2,0。14.還原尾氣、reduction.off、gas 還原爐內(nèi)生成多晶硅的反應(yīng)過(guò)程中未參與反應(yīng)的原料和生成的副產(chǎn)物的混合氣體.主要包括氫氣、氣態(tài)氯硅烷及氯化氫等、2 0。15 防爆防護(hù)墻 explosion、proof.protective,wall，具有一定防爆能力的隔墻 能防止爆炸產(chǎn)生的飛散物對(duì)設(shè)施及人員的傷害