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5，工藝設(shè)計5.1 一般規(guī)定5 1、1,三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝主要由還原.提純，干法回收和三氯氫硅生產(chǎn)四大主工藝系統(tǒng)組成.工藝流程見圖1 圖1。三氯氫硅氫還原生產(chǎn)工藝流程簡圖 多晶硅行業(yè)近年來發(fā)展迅速。其生產(chǎn)工藝和設(shè)備裝備水平較以前均有大幅度提升。每個主工藝都有幾種工藝方案選擇 為提高建設(shè)質(zhì)量以及整個行業(yè)的技術(shù)水平,本條對工藝流程的設(shè)計和工藝設(shè)備的選型進行了規(guī)定。1，多晶硅工廠主要的能源消耗是電力和蒸汽，由此產(chǎn)生的成本超過了多晶硅成本的一半 不同的產(chǎn)品方案決定了不同的精餾提純流程和工藝 不同的建設(shè)規(guī)模和能源價格決定了不同的氫化工藝，不同的建設(shè)規(guī)模。能源價格和投資資金決定了還原爐等主要設(shè)備選型的經(jīng)濟性，2。3。國家大力提倡循環(huán)經(jīng)濟發(fā)展模式、以建設(shè)資源節(jié)約型,環(huán)境友好型的美麗社會為目標(biāo),因此工廠建設(shè)中應(yīng)做到安全可靠.環(huán)保節(jié)能,技術(shù)先進、經(jīng)濟合理、5，多晶硅生產(chǎn)是個較為復(fù)雜的系統(tǒng)工程,每個主工序的生產(chǎn)特點均有不同 如還原過程的一次轉(zhuǎn)化率低,只有10，左右、大量三氯氫硅和副產(chǎn)物以尾氣的形式進入干法回收系統(tǒng)，干法回收應(yīng)具備吸納不同氣量.不同組分還原尾氣的能力、各個主工序之間生產(chǎn)能力應(yīng)有合理匹配和綜合平衡，5.1，5、現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額,GB 29447中對多晶硅各生產(chǎn)單元的工藝電耗.蒸汽消耗 綜合電耗以及綜合能耗分別給出了限定值,準(zhǔn)入值 先進值的要求，新建項目至少達到限額準(zhǔn)入值標(biāo)準(zhǔn),本條規(guī)定各生產(chǎn)單元的蒸汽 電力及綜合能耗不大于限額準(zhǔn)入值，并達到先進值.目的是節(jié)約資源能源.5，1。8，多晶硅生產(chǎn)過程伴有氫氣。三氯氫硅 二氯二氫硅 四氯化硅.氯化氫等危險化學(xué)品,對于輸送易燃 易爆,有毒 有腐蝕性物料的設(shè)備和管道應(yīng)考慮其使用的安全性 防止泄漏、