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- 多晶硅工廠設計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設計
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設施
- 7.1 壓縮空氣站
- 7.2 制 氮 站
- 7.3 制 氫 站
- 7.4 導 熱 油
- 7.5 純水制備
- 7.6 制 冷
- 7.7 蒸 汽
- 8 建筑結構
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風與空氣調節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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- 針織工廠設計規(guī)范[附條文說明] GB 51112-2015
- 牛羊屠宰與分割車間設計規(guī)范[附條文說明] GB 51225-2017
- 建筑采光設計標準[附條文說明] GB 50033-2013
- 養(yǎng)老設施建筑設計規(guī)范[附條文說明] GB 50867-2013
- 住宅建筑規(guī)范[附條文說明] GB 50368-2005
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7、5,純水制備7 5,3,本條主要對純水的水質提出要求。由于純水主要用于清洗硅料 硅芯和石墨件.為了避免對清洗料二次污染。所以對水質要求比較高.表7 5。3中的指標數(shù)據(jù)主要依據(jù)了美國,電子和半導體工業(yè)用超純水標準指南,ASTM。D5127中E 1級的水質標準,7。5.4、本條第2款規(guī)定純水系統(tǒng)應采用循環(huán)方式,主要是為了保證管道內(nèi)水的流動性。減少死水區(qū),減小管道材料對水質的影響。防止微牛物及細菌的滋生、