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1,總、則1。0.1。本條提出的、技術(shù)先進。經(jīng)濟合理 安全可靠,環(huán)保節(jié)能，是國家的基本技術(shù)經(jīng)濟政策、也是多晶硅工廠設(shè)計應(yīng)貫徹實施的方針、建設(shè)資源節(jié)約型、環(huán)境友好型社會,發(fā)展循環(huán)經(jīng)濟是國家經(jīng)濟發(fā)展的一項重大戰(zhàn)略思想、1，0，2。已經(jīng)實現(xiàn)工業(yè)化生產(chǎn)的多晶硅生產(chǎn)工藝有冶金法，三氯氫硅氫還原法以及硅烷法等,其中三氯氫硅氫還原工藝成熟，適合大規(guī)模工業(yè)化生產(chǎn).是目前國內(nèi)外主流生產(chǎn)工藝。采用此方法的產(chǎn)能占多晶硅總產(chǎn)能的85，以上,本規(guī)范適用于三氯氫硅氫還原生產(chǎn)工藝、以歧化工藝為主的硅烷法的三氯氫硅合成 四氯化硅氫化和精餾環(huán)節(jié)與三氯氫硅氫還原工藝基本相同。也按本規(guī)范的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行。