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8,4。潔凈設(shè)計(jì)及裝修8,4.1,有關(guān)主廠房設(shè)計(jì)要求說明如下 1,半導(dǎo)體級多晶硅產(chǎn)品純度高。為保證產(chǎn)品質(zhì)量。避免硅棒和多晶硅在生產(chǎn)和運(yùn)輸過程中受污染。還原爐室工藝一般要求空氣的潔凈度不低于8級,潔凈區(qū)的出入口部應(yīng)設(shè)置人員凈化 物料凈化用室和生活用室 潔凈區(qū)的口部平面設(shè)置、防火和疏散、室內(nèi)裝修均應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn),潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范。GB.50073執(zhí)行,還原爐室通過潔凈連廊與整理工段相連。合用凈化口部房間可以簡化人流路線、節(jié)省投資.連廊的空氣潔凈度和室內(nèi)裝修要求同還原爐室,由于還原爐室為高大廠房,體積較大,從產(chǎn)品要求。投資和運(yùn)行成本考慮,生產(chǎn)太陽能級多晶硅的還原爐室對空氣的要求考慮三級過濾??刹话礉崈魪S房考慮 3 為保證多晶硅的產(chǎn)品質(zhì)量,整理車間內(nèi)從多晶硅棒去石墨到多晶硅破碎,篩選,酸洗干燥,稱量、包裝等后處理工段的空氣潔凈度不宜低于7級。前處理多晶硅還原配套的輔助工段、主要包括硅芯制備、石墨煅燒等,空氣潔凈度不宜低于8級,潔凈區(qū)的出入口部應(yīng)設(shè)置人員凈化用室,物料凈化用室 生活用室、潔凈區(qū)的口部平面設(shè)置。防火和疏散、室內(nèi)裝修均應(yīng)按現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范.GB.50073的有關(guān)規(guī)定執(zhí)行、8、4,2 本條對有空氣潔凈度要求的其他廠房和建筑作出規(guī)定、1.高差定為大于或等于300mm是因?yàn)闈崈舴块g有較高的防潮要求 3,現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)。潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范、GB,50073中的室內(nèi)裝修條款對潔凈室的門窗,墻壁、頂棚。地面都規(guī)定得較為詳細(xì)。故規(guī)定按其執(zhí)行。4,本款對潔凈區(qū)外沒有空氣潔凈度要求的其他輔助房間的裝修作了一般性規(guī)定.
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