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5、2。三氯氫硅合成和四氯化硅氫化5,2，1.多晶硅工廠應(yīng)有四氯化硅，STC 氫化裝置，企業(yè)可根據(jù)生產(chǎn)規(guī)模,當(dāng)?shù)厝葰涔韫?yīng)以及投資規(guī)模等方面綜合比較后確定是否增加三氯氫硅合成裝置、5。2，2，三氯氫硅合成工序的原料之一的氯化氫.HCl、可采用氯化氫合成或鹽酸解析工藝制取 5.2,3 液氯汽化工序的液氯汽化器應(yīng)采用熱水加熱，水溫宜為40、70 不應(yīng)使用蒸汽加熱.并應(yīng)設(shè)置冬、夏季不同溫度的冷,熱水汽化液氯、液氯汽化工序的設(shè)計(jì)應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)，氯氣安全規(guī)程。GB.11984的有關(guān)規(guī)定。5,2,4、三氯氫硅合成工序應(yīng)采用干.濕結(jié)合的除塵工藝,并應(yīng)提高單次運(yùn)行時(shí)間。5.2、5、三氯氫硅合成工序的工藝尾氣應(yīng)采用吸附裝置回收氫氣和氯化氫 5，2.6、合成和冷氫化工序宜設(shè)置硅粉干燥工序、干燥用氣應(yīng)回收循環(huán)使用,5。2.7。四氯化硅氫化裝置應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)規(guī)模 所在地區(qū)能源價(jià)格.投資成本及建設(shè)周期綜合經(jīng)濟(jì)比較后確定采取高溫氫化上藝,固定床冷氫化工藝或流化床冷氫化工藝 5，2。8 氫化裝置宜與氫化冷凝液提純裝置臨近布置、5、2。9，冷氫化裝置應(yīng)配套殘液回收裝置 并應(yīng)就近配置,5.2 10 冷氫化裝置宜獨(dú)立設(shè)置于敞開或半敞開式的構(gòu)筑物內(nèi)、制冷系統(tǒng)可布置于建筑物內(nèi),附屬輔助系統(tǒng)宜在滿足防火間距的基礎(chǔ)上毗連布置、5 2，11，主要設(shè)備選型應(yīng)符合下列規(guī)定。1 氫氣壓縮機(jī)應(yīng)選擇密封性好。噪聲小 故障率低的機(jī)型,宜設(shè)置備用機(jī),2,宜選用運(yùn)行穩(wěn)定、故障率低、密封好的泵、應(yīng)設(shè)置備用機(jī),