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5。7,分析檢測5,7,1、多晶硅工廠應設置單獨的分析檢測室 并宜在四氯化硅氫化。還原尾氣干法回收.三廢處理站等裝置區(qū)內設置在線分析裝置.5 7 2,分析檢測室不應與甲、乙類房間布置在同一防火分區(qū)內,可獨立設置于一側。5。7、3，分析檢測應包括下列內容 1，氯硅烷的含量、雜質，含碳化合物分析，2、硅粉的含量。雜質、粒度.碳含量分析,3、液氬中氧，氮含量分析,4.液氮中氧含量的分析,氮氣中氫含量，氧含量和露點分析.5。氫氣中氧含量。氮含量。氯硅烷含量。露點分析.6。水中氯離子，Cl，氟離子。F，化學含氧量 COD，生化需氧量,BOD。酸堿度、pH值，硬度。全堿度、懸浮物 總磷。正磷分析、7、大氣中氯化氫。氟化物、氮氧化物分析 8，多晶硅質量指標分析。指標分析包括多晶硅的導電類型 電阻率。少子壽命 氧含量，碳含量,表面金屬雜質含量。體金屬雜質含量的分析.9,合成原料氯化氫的純度分析 10.液氯中三氯化氮。水含量分析，5,7。4,分析檢測室中除化學分析外。其他分析檢測室應設置在潔凈區(qū)，