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5.工藝設(shè)計(jì)5、1、一般規(guī)定5 1.1，三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝流程的設(shè)計(jì)和工藝設(shè)備的選型應(yīng)符合下列規(guī)定。1 應(yīng)對(duì)建設(shè)規(guī)模，產(chǎn)品方案。建廠條件，原料與燃料性能及價(jià)格 能源消耗，經(jīng)濟(jì)效益等進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定工藝流程和主要設(shè)備,2 應(yīng)選擇符合國家制造標(biāo)準(zhǔn).節(jié)能環(huán)保 先進(jìn)高效、安全可靠的工藝設(shè)備、3、應(yīng)采用符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)要求的新技術(shù)，新工藝，新設(shè)備、4,物料平衡和能量平衡應(yīng)根據(jù)選定的工藝流程進(jìn)行計(jì)算。5.不同工序的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，設(shè)備選型與配備應(yīng)根據(jù)每個(gè)工序和單體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作需求綜合平衡后確定 并應(yīng)保證生產(chǎn)系統(tǒng)的操作彈性和余量 同時(shí)應(yīng)滿足生產(chǎn)負(fù)荷變化和生產(chǎn)安全的要求、6、在高海拔,高寒和濕熱地區(qū)建廠,應(yīng)根據(jù)海拔高度對(duì)工藝計(jì)算,設(shè)備選型進(jìn)行修正 所選用的設(shè)備應(yīng)滿足其特殊環(huán)境要求，5。1,2 工藝布置應(yīng)符合下列規(guī)定。1，總平面布置應(yīng)滿足工藝流程的要求，宜留有發(fā)展空間.2、工藝車間宜根據(jù)工藝流程和設(shè)備選型確定 并應(yīng)在平面和空間上、滿足施工。安裝.操作，維護(hù)、監(jiān)測和通行的要求，5。1.3、工藝流程選擇 設(shè)備選型及工藝布置,應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)主要物料的易燃,易爆、有毒及火災(zāi)危險(xiǎn)等危害特性確定.5,1 4。寒冷地區(qū)的管路系統(tǒng)應(yīng)采取防凍措施,5、1，5，新建 改建或擴(kuò)建工廠內(nèi)各生產(chǎn)單元的蒸汽。電力及綜合能耗總額。不應(yīng)大于現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額。GB 29447中規(guī)定的限額準(zhǔn)入值、5.1，6,工藝生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施 工藝廢氣應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類,粉塵含量和危險(xiǎn)性單獨(dú)或全廠分類。集中回收處理.5，1、7，工藝設(shè)計(jì)范圍應(yīng)包括三氯氫硅合成和四氯化硅氫化,氯硅烷提純。三氯氫硅氫還原，還原尾氣干法回收.多晶硅產(chǎn)品后處理。二氯二氫硅,DCS、反歧化等生產(chǎn)車間或單元。以及相應(yīng)的工藝輔助設(shè)施.5.1 8。工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備,管道的材質(zhì)以及管閥件。應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)和工況條件選取、并應(yīng)采取相應(yīng)的安全防護(hù)措施。5.1、9 工藝主要生產(chǎn)房間潔凈度的設(shè)計(jì)要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定，