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- 多晶硅工廠設計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設計
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設施
- 8 建筑結構
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風與空氣調節(jié)
- 11 環(huán)境保護、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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- 建筑節(jié)能與可再生能源利用通用規(guī)范[附條文說明] GB 55015-2021
- 養(yǎng)老設施建筑設計規(guī)范[附條文說明] GB 50867-2013
- 氧氣站設計規(guī)范[附條文說明] GB 50030-2013
- 建筑設計防火規(guī)范[附條文說明] GB 50016-2014（2018年版）
- 城鄉(xiāng)歷史文化保護利用項目規(guī)范[附條文說明] GB 55035-2023
- 工程勘察通用規(guī)范[附條文說明] GB 55017-2021
2，術。語2.0。4，四氯化硅氫化是將多晶硅生產中大量副產的四氯化硅轉化成三氯氫硅的工藝。目前已經實現(xiàn)工業(yè)化生產.比較成熟的氫化工藝有熱氫化 冷氫化，其中熱氫化是在1250。低壓條件下。四氯化硅和氫氣直接反應生產三氯氫硅的工藝。該工藝具有易操作、反應無雜質帶入,后續(xù)精餾簡單,電耗高，轉化率低等特點 冷氫化是在500 高壓條件下 四氯化硅。氫氣與硅粉反應生產三氯氫硅的工藝、該工藝具有電耗低。轉化率高、單體設備處理能力大,操作要求高等特點,