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- 多晶硅工廠設(shè)計規(guī)范 GB 51034-2014
- 條文說明
- 1 總 則
- 2 術(shù) 語
- 3 基本規(guī)定
- 4 廠址選擇及廠區(qū)規(guī)劃
- 5 工藝設(shè)計
- 5.1 一般規(guī)定
- 5.2 三氯氫硅合成和四氯化硅氫化
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.4 三氯氫硅氫還原
- 5.3 氯硅烷提純
- 5.6 硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理
- 5.7 分析檢測
- 6 電氣及自動化
- 7 輔助設(shè)施
- 8 建筑結(jié)構(gòu)
- 9 給水、排水和消防
- 10 采暖、通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)
- 11 環(huán)境保護(hù)、安全和衛(wèi)生
- 12 節(jié)能、余熱回收
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- 建筑防火封堵應(yīng)用技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB/T 51410-2020
- 地鐵設(shè)計防火標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] GB 51298-2018
- 酒廠設(shè)計防火規(guī)范[附條文說明] GB 50694-2011
- 倒置式屋面工程技術(shù)規(guī)程[附條文說明] JGJ 230-2010
- 綜合醫(yī)院建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)[附條文說明] 建標(biāo) 110-2021
- 化工企業(yè)總圖運(yùn)輸設(shè)計規(guī)范[附條文說明] GB 50489-2009
- 綜合醫(yī)院建設(shè)標(biāo)準(zhǔn)（征求意見稿） 2018年
5。6、硅芯制備及多晶硅產(chǎn)品后處理5.6，4 本條第1款和第7款的規(guī)定主要是為了防止運(yùn)輸路徑和環(huán)境對硅料的二次污染.第2款和第4款的規(guī)定是為了防止與硅料接觸的工具對硅料造成二次污染，5。6、5,多晶硅的酸腐蝕主要采用氫氟酸和硝酸的混酸.具有強(qiáng)腐蝕性,供酸室不應(yīng)與腐蝕清洗室設(shè)置在一起。本條第3款規(guī)定了供酸室與腐蝕清洗室分開布置、但布置時應(yīng)兼顧供酸管道的距離和位置,輸送距離遠(yuǎn) 輸送管過長.輸送線路不安全。