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10，3,空氣調節(jié)與凈化10.3。1,廠房空氣潔凈度等級.溫度 濕度的設計應滿足生產工藝要求 10。3、2 存在下列情況之一時.空調系統(tǒng)應分開設置,1，凈化空調系統(tǒng)與一般空調系統(tǒng)、2，空氣中含有易燃,易爆物質、3,容易產生交叉污染，對其他工序的產品質量造成影響，4,對溫、濕度控制要求差別大。5.工藝設備散熱量相差懸殊，10、3、3,保證空氣潔凈度等級的送風量應符合下列規(guī)定 1.5級，8級潔凈室送風量應符合現(xiàn)行國家標準，潔凈廠房設計規(guī)范 GB 50073的有關規(guī)定,2.生產太陽能級多晶硅的還原爐室,當空調系統(tǒng)為三級過濾時,其送風量應按換氣次數(shù)大于或等于6次、h計算,10 3 4 空調系統(tǒng)新風量應取下列兩項中的較大值。1，補償室內排風量和保持室內正壓值所需新風量之和 2。保證供給室內每人每小時的新風量、潔凈區(qū)不應小于40m3,非潔凈區(qū)不應小于30m3。10、3，5,潔凈室送風可采用集中送風或風機過濾機組送風的方式。10，3。6，潔凈室與周圍區(qū)域的壓差應符合下列規(guī)定、1.不同等級的潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa 2。潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的壓差不應小于5Pa、3，潔凈區(qū)與室外的壓差不應小于10Pa。10，3,7,潔凈空調送風，回風和排風系統(tǒng)的啟閉應連鎖、正壓潔凈室連鎖程序應為先啟動送風機 再啟動回風機和排風機 關閉時連鎖程序應相反.10，3。8，單向流和混合流潔凈室的空態(tài)噪聲級不應大于65dB,A 非單向流潔凈室的空態(tài)噪聲級不應大于60dB,A。10.3.9 還原車間應獨立設置直流空調送風系統(tǒng) 不應回風、10、3,10，腐蝕清洗室、硅棒破碎室.配件清洗室的空調送風系統(tǒng)不宜回風 10。3，11.潔凈空氣調節(jié)系統(tǒng)的新風集中處理時、新風處理機組應符合下列規(guī)定 1,新風應經(jīng)過粗效過濾器處理.2、嚴寒地區(qū)新風應先預熱、3。送風機宜采取變頻措施 10、3 12。空氣過濾器選用。布置應符合下列規(guī)定,1 空氣凈化處理應根據(jù)空氣潔凈度等級選用過濾器 2、空氣過濾器處理風量不應大于額定風量。3。中效，高中效，空氣過濾器宜集中設置在空調系統(tǒng)的正壓段,4，亞高效和高效過濾器宜設置在凈化空調系統(tǒng)的末端。10 3、13.風機過濾機組的設置應符合下列規(guī)定，1、應根據(jù)空氣潔凈度等級和送風量選用。2 送風量應能調節(jié)、3、應便于安裝，維修及過濾器更換,10.3。14，凈化空調系統(tǒng)的送風機宜采用變頻裝置.