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5，工藝設(shè)計(jì)5.1。一般規(guī)定5,1、1.三氯氫硅氫還原法多晶硅生產(chǎn)工藝流程的設(shè)計(jì)和工藝設(shè)備的選型應(yīng)符合下列規(guī)定,1、應(yīng)對建設(shè)規(guī)模.產(chǎn)品方案,建廠條件.原料與燃料性能及價(jià)格、能源消耗、經(jīng)濟(jì)效益等進(jìn)行技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定工藝流程和主要設(shè)備.2.應(yīng)選擇符合國家制造標(biāo)準(zhǔn),節(jié)能環(huán)保。先進(jìn)高效,安全可靠的工藝設(shè)備 3。應(yīng)采用符合循環(huán)經(jīng)濟(jì)要求的新技術(shù)、新工藝、新設(shè)備、4。物料平衡和能量平衡應(yīng)根據(jù)選定的工藝流程進(jìn)行計(jì)算.5.不同工序的系統(tǒng)設(shè)計(jì)，設(shè)備選型與配備應(yīng)根據(jù)每個(gè)工序和單體設(shè)備的運(yùn)轉(zhuǎn)效率及中間產(chǎn)品的操作需求綜合平衡后確定 并應(yīng)保證生產(chǎn)系統(tǒng)的操作彈性和余量,同時(shí)應(yīng)滿足生產(chǎn)負(fù)荷變化和生產(chǎn)安全的要求 6,在高海拔，高寒和濕熱地區(qū)建廠，應(yīng)根據(jù)海拔高度對工藝計(jì)算。設(shè)備選型進(jìn)行修正，所選用的設(shè)備應(yīng)滿足其特殊環(huán)境要求,5，1 2。工藝布置應(yīng)符合下列規(guī)定、1 總平面布置應(yīng)滿足工藝流程的要求。宜留有發(fā)展空間。2。工藝車間宜根據(jù)工藝流程和設(shè)備選型確定 并應(yīng)在平面和空間上，滿足施工 安裝，操作。維護(hù)、監(jiān)測和通行的要求 5，1 3.工藝流程選擇、設(shè)備選型及工藝布置、應(yīng)根據(jù)多晶硅生產(chǎn)主要物料的易燃 易爆 有毒及火災(zāi)危險(xiǎn)等危害特性確定，5,1,4,寒冷地區(qū)的管路系統(tǒng)應(yīng)采取防凍措施.5、1,5。新建，改建或擴(kuò)建工廠內(nèi)各生產(chǎn)單元的蒸汽，電力及綜合能耗總額,不應(yīng)大于現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn).多晶硅企業(yè)單位產(chǎn)品能源消耗限額、GB。29447中規(guī)定的限額準(zhǔn)入值 5。1。6.工藝生產(chǎn)裝置應(yīng)設(shè)有事故緊急排放設(shè)施，工藝廢氣應(yīng)根據(jù)介質(zhì)種類，粉塵含量和危險(xiǎn)性單獨(dú)或全廠分類，集中回收處理,5.1 7.工藝設(shè)計(jì)范圍應(yīng)包括三氯氫硅合成和四氯化硅氫化，氯硅烷提純 三氯氫硅氫還原.還原尾氣干法回收，多晶硅產(chǎn)品后處理、二氯二氫硅，DCS、反歧化等生產(chǎn)車間或單元,以及相應(yīng)的工藝輔助設(shè)施.5.1,8.工藝生產(chǎn)系統(tǒng)內(nèi)的設(shè)備 管道的材質(zhì)以及管閥件.應(yīng)根據(jù)物料性質(zhì)和工況條件選取，并應(yīng)采取相應(yīng)的安全防護(hù)措施。5.1 9，工藝主要生產(chǎn)房間潔凈度的設(shè)計(jì)要求宜符合本規(guī)范附錄C的規(guī)定，